[发明专利]基板检查系统

权利要求书

1.一种基板检查系统，其用于用多种检查方法对被检查对象基板进行检查，其特征在于，

该基板检查系统包括：

自动检查装置，其用于利用摄像部拍摄上述被检查对象基板而进行检查；

架台，其具有横跨上述自动检查装置的门型形状的腿部；

人工宏观检查装置，其配置在上述架台上，用于直视上述被检查对象基板而进行目视检查；

基板输送机器人，其用于对于上述自动检查装置和上述人工宏观检查装置输入、输出上述被检查对象基板，

上述人工宏观检查装置借助上述架台独立于上述自动检查装置地配置在上述自动检查装置的上方。

2.根据权利要求1所述的基板检查系统，其特征在于，

上述人工宏观检查装置具有：基板保持部，其用于保持上述被检查对象基板；一对框架，其具有规定的角度地配置，用于以上述基板保持部能够滑动的方式支承上述基板保持部。

3.根据权利要求2所述的基板检查系统，其特征在于，

上述框架的基端侧延伸到比上述自动检查装置的最大高度位置低的位置。

4.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在于，

上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述最大高度位置，该机架用于支承摄像部，该机架固定设置在比上述基板输送机器人的上下移动动作空间靠外侧的位置，上述框架的基端侧延伸到不与上述机架及上述上下移动动作空间相干涉的位置。

5.根据权利要求3所述的基板检查系统，其特征在于，

上述自动检查装置具有机架，该机架的上端作为上述最大高度位置，该机架用于支承摄像部，该机架以能沿着上述被检查对象基板的输入空间移动的方式设置，上述框架的基端部延伸到不与上述机架的移动区域相干涉的位置。

6.根据权利要求2所述的基板检查系统，其特征在于，

上述框架的基端侧推出到比上述自动检查装置的工作台靠外侧的位置。

7.根据权利要求1所述的基板检查系统，其特征在于，

上述基板保持部的至少一部分移动到位于比上述自动检查装置的上端靠下方的位置。

8.根据权利要求1所述的基板检查系统，其特征在于，

上述人工宏观检查装置具有用于供检查者进行目视观察的检查作业台，

该检查作业台配置在不与上述自动检查装置相干涉的空间区域中。

9.根据权利要求8所述的基板检查系统，其特征在于，

上述检查作业台配置在上述自动检查装置与上述人工宏观检查装置错开地配置的空间区域中。

10.根据权利要求8所述的基板检查系统，其特征在于，

上述自动检查装置具有用于安装检查头的移动型机架，

上述检查作业台配置在比上述移动型机架的移动空间靠上方的空间区域中。

11.根据权利要求1所述的基板检查系统，其特征在于，

上述自动检查装置借助除振台设置在地面上，

上述人工宏观检查装置借助上述架台设置在地面上。

12.根据权利要求1所述的基板检查系统，其特征在于，

上述基板输送机器人具有能够向被配置在1层的上述自动检查装置和被配置在2层的上述人工宏观检查装置移动的手臂，

沿着上述手臂的上下移动方向，使上述人工宏观检查装置的基板输入空间配置在上述自动检查装置的基板输入空间之上。