[发明专利]基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法及对准系统

权利要求书

1.一种基于标记周期级次光强值累加判断寻找对准标记的方法，其特征在于，包括：

(a)获得多周期标记的各周期一级次光的光强并对所述光强累加获得一光强信号，通过所述光强信号获得对准标记位置；

(b)根据设定的各周期经验2.筛选所述光强信号中光强值异常的毛刺点；

(c)对所述光强信号进行最小阈值检查，若光强检测值小于最小阈值则进行位置修正，若光强检测值大于或等于最小阈值则将各周期一级光强叠加；

(d)光强叠加后检测最高峰值点和左右各峰值点斜率 ，其中左峰值点与最高3.点斜率为K_左1，右峰值点与最高峰值点斜率为K_右1，如果K_MIN<| K_左1|<K_MAX且K_MIN<| K_右1|<K_MAX则该最高峰值点为通过4.叠加所获得的标记位置，如果不满足K_MIN<| K_左1|<K_MAX且K_MIN<| K_右1|<K_MAX则进行位置修正，其中KMIN 和KMAX为扫描统计经验值；

(e)计算所述标记位置与下发的标记期望位置的绝对值以判断对准标记是否寻找成功。

2.如权利要求1所述的寻找标记的方法，其特征在于，所述步骤b进一步包括：根据设定的各周期经验阈值筛选光强信号中光强值异常的毛刺点，5.计毛刺点个数，当毛刺点统计超出误差设定比率，即满足I_L阈筛<I_L或I_M阈筛<I_M时，执行报错处理。

3.如权利要求1所述的寻找标记的方法，其特征在于，所述步骤c中所述的最小阈值检查包括判断各自周期的所述光强信号的强度是否大于或小于最小阈值。

4.如权利要求1所述的寻找标记的方法，其特征6.，所述步骤c、d中所述位置修正具体包括：根据标记特性，若L周期X向光强信号偏弱，则沿工件台坐标系Y向正方向移动工件台；若L周期Y向光强信号偏弱，则沿工件台坐标系X向负方向移动工件台；若M周期X向光强信号偏弱，则沿工件台坐标系Y向负方向移动工件台；若M周期Y向光强信号偏弱，则沿工件台坐标系Y向7.向移动工件台。

5.如权利要求1所述的寻找标记的方法，其特征在于，所述步骤d具体包括：

（d1）以峰值最高点为中心，检测左右各一个峰值点与最高峰值点的斜率是否同时满足要求，若最高峰值点不满足K_MIN<| K_左1|<K_MAX且K_MIN<| K_右1|<K_MAX，则选次高峰值点为中心，8.上述检测。

6.如权利要求5所述的寻找标记的方法，其特征在于，所述步骤d进一步包括：

（d2）若所述最高峰值点未通过斜率检测，则以次高峰值点为中心，并检查次高峰值点与左右峰值点的斜率是否满足K_MIN<| K_左1|<K_MAX且K_MIN<| K_右1|<K_MAX，若满足，则该点为通过光强叠加所获得的标记位置。

7.如权利要求1所述的寻找标记的方法，其特征在于，所述步骤e具体包括：计算光强叠加所获得的标记位置与下发的标记期望位置的绝对值，若在88um范围内，则标记已经寻找成功，则执行扫描对准计算；若超出88um范围，则将光强叠加所获得的标记位置最为期望位置进行修正，并重新执行步骤a。

8.一种基于双光源多级次对准系统，包括：对准辐射源、对准栅格、检测系统和与检测系统通信连接的定位单元，其特征在于，所述对准系统采用如权利要求1至7任一项所述的方法进行对准标记寻找。