[发明专利]在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法

权利要求书

1.一种在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法，包括用光学镀膜机在由化学法钢化的光学玻璃基片的表面镀增透膜层，其特征在于在所述的光学玻璃基片的表面与所述的增透膜层之间设置一层缓冲膜层，根据所述的增透膜层的应力特性，将所述的缓冲膜层的应力特性设置成与所述的增透膜层的应力特性相反，所述的缓冲膜层的应力大小等于所述的增透膜层的应力的大小±5％。

2.如权利要求1所述的一种在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法，其特征在于将所述的增透膜层的应力设置成张应力，所述的缓冲膜层的应力设置成压应力。

3.如权利要求1所述的一种在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法，其特征在于用厚度为130～180nm的SiO₂层构成所述的缓冲膜层，用至少两层复合膜层构成所述的增透膜层，所述的复合膜层采用先镀一层高折射率层，再镀一层低折射率层的方式构成，控制所述的高折射率层的厚度为所述的复合膜层厚度的5％～15％。

4.如权利要求3所述的一种在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法，其特征在于所述的缓冲膜层的厚度为150nm。

5.如权利要求3或4所述的一种在化学法钢化的光学玻璃表面镀增透膜的方法，其特征在于所述的高折射率层使用HfO₂、ZrO₂或Ti₃O₅材料制成，所述的低折射率层使用SiO₂材料制成。