[发明专利]精确控制位置的载物台

权利要求书

1.一种精确控制位置的载物台，包括基台、支撑柱和销钉，支撑柱和销钉固定在基台上，垂直于基台的方向上销钉高度高于支撑柱的高度，所述支撑柱的支撑部位的顶点形成一个平面，被载物体放置于支撑柱的支撑部位上，并且位于销钉的内侧；其中，所述销钉为偏心销钉，通过螺纹固定在基台上。

2.根据权利要求1所述的精确控制位置的载物台，其特征在于所述支撑柱为硬点支撑柱和软点支撑柱，所述支撑柱的支撑部位为曲面结构或锥形结构；所述载物台有至少两个销钉。

3.根据权利要求2所述的精确控制位置的载物台，其特征在于所述支撑柱的支撑部位曲面结构为球面结构；支撑柱有三个硬点支撑柱与多个软点支撑柱构成；三个硬点支撑柱分布在基台位置所在点构成一个三角形，软点支撑柱所在点处于所述三角形的外部区域；基台上有三个销钉，销钉上具有螺母。

4.根据权利要求3所述的精确控制位置的载物台，其特征在于三个硬点支撑柱位置所在点连线构成直角或锐角三角形；所述支撑柱与基台接触的结构为螺纹结构，软点支撑柱与基台接触的部位通过螺纹转动。

5.根据权利要求4所述的精确控制位置的载物台，其特征在于三个支撑柱位置所在点连线构成等腰直角或等腰锐角三角形；所述硬点支撑柱由耐磨不锈钢材料制成；软点支撑柱由硬质材料和软性材料相结合而成；基台上有备用螺孔，硬点支撑柱上具有螺母，软点支撑柱是球头弹性柱塞，所述支撑柱的支撑部位与台面的接触方式为点接触或线接触。

6.根据权利要求1所述的精确控制位置的载物台，其特征在于所述基台由轻质铝材料或是合金材料制成；所述支撑柱的支撑部位与台面的接触方式为点接触。

7.根据权利要求1所述的精确控制位置的载物台，其特征在于所述偏心销钉的偏心轴的主体为圆柱体结构，和基台固定的固定端具有螺纹，旋转偏心销钉时，其垂直轴心横向移动。

8.根据权利要求1所述的精确控制位置的载物台，其特征在于偏心销钉上具有手动调节部件。

9.根据权利要求8所述的精确控制位置的载物台，其特征在于手动调节部件为凸起、凹槽或圆孔。