[发明专利]双轴加速度传感器

权利要求书

1.一种双轴加速度传感器，其特征在于：所述加速度传感器包括基底和固定在所述基底上的检测传感单元，所述检测传感单元包括质量块、由所述质量块相对两侧分别延伸出的梳齿状的第一动电极和由所述质量块另外相对两侧分别延伸出的第二动电极部，所述第二动电极部包括电极壁和由所述电极壁向远离所述质量块方向延伸出的梳齿状的第二动电极，所述质量块包括主体部、分别嵌设在所述主体部内并与所述第一动电极垂直的两个第一梁式弹臂和分别设置在所述主体部与两个所述第二动电极部之间的一对框壁，所述第一梁式弹臂分别将所述框壁与所述主体部固定相连，所述检测传感单元还包括分别将所述框壁与所述电极壁固定相连的两个连接部，所述质量块还包括分别位于在所述框壁与所述电极壁之间的并与所述第一动电极平行的两个第二梁式弹臂，所述第二梁式弹臂两端分别固定在所述基底和连接部上，所述检测传感单元还设有固定在所述基底上的两组第一定电极和两组第二定电极，所述第一定电极与所述第一动电极呈相互交错设置且互不接触，所述第二定电极与所述第二动电极相互交错设置且互不接触。

2.根据权利要求1所述的双轴加速度传感器，其特征在于：所述第一定电极和第二定电极的两端分别设有止挡部，所述基底上设有止挡块，所述止挡块卡设在所述止挡部内。

3.根据权利要求2所述的双轴加速度传感器，其特征在于：所述质量块上还设有若干贯穿其上的阻尼孔。

4.根据权利要求3所述的双轴加速度传感器，其特征在于：所述第一梁式弹臂设有四个，每两个为一组，每组分别将两个所述框壁与所述主体部固定相连。

5.根据权利要求4所述的双轴加速度传感器，其特征在于：所述第二梁式弹臂设有四个，每两个为一组，每组分别位于所述主体部的相对两侧。