[发明专利]一种微量腐蚀性气体环境试验箱

权利要求书

1.一种微量腐蚀性气体环境试验箱，其特征在于：试验箱由洁净空气给气模块、微量腐蚀性气体发生模块、样品腐蚀试验反应模块、气体回收模块和原位图像采集系统组成；

所述的洁净空气给气模块由空气压缩机（1）、稳压阀（2）、干燥净化管、稳压阀（7）和压力表（8）依次连接组成，洁净空气给气模块用以形成稳压空气源，并将空气中的粉尘颗粒物和水汽过滤去除，为环境试验箱提供洁净空气；

所述的微量腐蚀性气体发生模块由一个或多个腐蚀性气体发生系统和洁净空气系统组成；所述的腐蚀性气体发生系统由第二针阀（10）、第二质量流量计（12）、第一自适应控温仪（13）、第一恒温槽（14）和渗透管（15）组成；第二针阀（10）、第二质量流量计（12）与渗透管（15）通过管线顺次连接，渗透管（15）位于第一恒温槽（14）中，第一自适应控温仪（13）与恒温槽（14）相连接，用以控制第一恒温槽（14）中的温度；渗透管（15）在恒定温度下，提供稳定的腐蚀性气体源，第二质量流量计（12）用来控制载带气体的流速，可以将载带出的气体浓度控制在1-1000ppb；

所述的洁净空气系统由第一针阀（9）、第一质量流量计（11）、配气室（16）组成；针阀（9）、第一质量流量计（11）与配气室（16）顺次连接；

所述的压力表（8）通过管线与腐蚀性气体发生系统和洁净空气系统中的针阀相连接；

所述的样品腐蚀试验反应模块由温度控制部分、湿度控制部分、风机（21）、试样架（23）和气体混合室（24）组成；温度控制部分与气体混合室（24）相连接，对气体混合室（24）进行温度控制；湿度控制部分与气体混合室（24）相连接，对气体混合室（24）进行湿度控制；，风机（21）和试样架（23）位于气体混合室（24）中；待测试样位于试样架（23）上；所述的腐蚀性气体发生系统所产生的腐蚀气体在管线中混合后进入气体混合室（24）中；所述的洁净空气系统中的配气室（16）与气体混合室（24）相连接，所有混合气体由风机（21）搅拌均匀；

所述的原位图像采集系统由长焦数码摄像机（26）和计算机（27）组成，原位图像采集系统透过气体混合室（24）的玻璃观察窗对试样表面状态进行实时观测；

所述的气体回收模块（25）与气体混合室（24）相连接，用来对试验后的尾气进行过滤回收，清除其中的有害性气体。

2.如权利要求1所述的一种微量腐蚀性气体环境试验箱，其特征在于：所述的干燥净化管由氢氧化钠（3）、变色硅胶（4）、碱石棉（5）和分子筛（6）依次连接组成。

3.如权利要求1所述的一种微量腐蚀性气体环境试验箱，其特征在于：所述的温度控制部分为第二自适应控温仪（17）与第二恒温槽（22）相连接，第二恒温槽（22）包在气体混合室（24）外。

4.如权利要求1所述的一种微量腐蚀性气体环境试验箱，其特征在于：所述的湿度控制部分包括加湿源（19）、第三质量流量计（18）和自适应控湿仪（20），第三质量流量计（18）和加湿源（19）通过管道与气体混合室（24）相连接，自适应控湿仪（20）与气体混合室（24）、第三质量流量计（18）相连接，第三质量流量计（18）通过自适应控湿仪（20）的反馈信号控制加湿源（19）的流量。