[发明专利]一种用于太阳能电池的方形区熔硅单晶生产方法无效
申请号: | 201210010550.2 | 申请日: | 2012-01-14 |
公开(公告)号: | CN102560644A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张雪囡;王彦君;王岩;高树良;沈浩平 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B13/20;C30B13/30 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 莫琪 |
地址: | 300384 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 方形 区熔硅单晶 生产 方法 | ||
1.一种用于太阳能电池的方形区熔硅单晶生产方法,其特征在于:生产方形区熔硅单晶的热系统采用的线圈为正方形线圈,正方形线圈形状为铜质扁平状方盘,正方形线圈的作用为调整电流分布,使得线圈表面电流路径为正方形,从而使正方形线圈所产生的温度分布的等温线为正方形,正方形线圈中心为正方形孔,正方形线圈上有4条狭缝,4条狭缝分别位于正方形线圈的对角线上;其中一条狭缝延伸至线圈外部、另三条狭缝的长度为线圈对角线长度的0.2~0.3倍;所述方法包括如下次序步骤:
扩肩时逐渐以-1~-4rpm/min的速率逐渐关闭下轴转速;
关闭下轴转速时,需降低加热线圈的功率和上轴速度;
扩肩需要缓慢扩肩,扩肩角度≤40°。
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