[发明专利]废气处理设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种废气处理设备，尤其涉及一种由至少四个洗涤塔构成的废气处理设备。

背景技术

一般工业工艺所产生的工艺废气通常包括有毒物质且具有臭味，如果废气未经过妥善处理，则会造成空气污染。为了除去废气中的污染物，必须利用空气污染防治设备处理废气，以使废气中的污染物质浓度低于法规规定的限值。一般业界常用的空气污染防治设备即为洗涤塔废气处理系统，洗涤塔废气处理系统以液体洗涤的方法除去废气中之污染物。

图1为现有技术的处理工艺废气的洗涤塔废气处理系统1的示意图。洗涤塔废气处理系统1包含进气装置12、洗涤液供应装置14、沉淀槽16及洗涤塔18等。洗涤液供应装置14又包含循环泵141、管路142及设于洗涤塔18内的喷洒设备(图未显示)。

洗涤塔废气处理系统1操作时，首先，将洗涤液以循环泵141经管路142输送至洗涤塔18塔顶，由塔顶进入洗涤塔18中。接着，洗涤液经喷洒设备均匀洒下并回到洗涤塔18塔底，然后再由循环泵141输送至塔顶而成一循环。另一方面，废气自塔底或塔顶导入洗涤塔18中，然后向上或向下流动并与洗涤液接触，使废气中的污染物溶入洗涤液，经净化的气体则由塔顶排出。

一般来说，当洗涤液与废气接触面积越大，洗涤塔18的废气洗涤效果会越好，因此洗涤塔18通常需设计成具有大的液面面积和最低的气体压力损失。为了达到上述目的，通常会在洗涤塔18内装填填充材，以增加液气的交换面积，以提高废气的洗涤效率。常用的填充材例如拉希环等。

随着科技产业的发展，半导体工艺也不断的更新，因而所产生的废气含有更多更复杂的污染物成份，这些污染物依靠现有技术的洗涤塔废气处理系统已无法妥善处理。

发明内容

本发明的目的在于提供一个由至少四个洗涤塔构成的废气处理设备，以有效处理新工艺所产生的废气。

为达到上述目的，本发明提供了一种废气处理设备，用以处理废气，包括沉淀槽及安装在所述沉淀槽上的洗涤装置，该沉淀槽具有至少二池体，用以盛装一洗涤液；该洗涤装置包含进气洗涤塔、出气洗涤塔及至少一洗涤塔组，该洗涤塔组进一步包含第一洗涤塔及第二洗涤塔，该第一洗涤塔及该第二洗涤塔是局部互相连通，该进气洗涤塔及该第一洗涤塔位于该沉淀槽同一池体上方，而该出气洗涤塔及该第二洗涤塔则位于该沉淀槽内另一池体上方，当该沉淀槽盛装该洗涤液时，每一池体内洗涤液的液面与该洗涤装置底部之间形成着一空间；当该废气进入该废气处理设备内处理时，废气将依序经进气洗涤塔、沉淀槽相对应的池体内空间、第一洗涤塔、第二洗涤塔、沉淀槽内另一池体内的空间、出气洗涤塔，最后已净化后的废气再由该出气洗涤塔排出。

利用本发明的至少四道洗涤的废气处理设备，可有效处理新工艺所产生的之废气，且对应废气量增加，有效延长洗涤流径，而设备尺寸维持不变。本发明的废气处理设备可使无尘室空间有效运用，且解决现有技术所无法解决的问题。

附图说明

图1为现有技术的处理工艺废气的洗涤塔废气处理系统的示意图。

图2为本发明的废气处理设备的结构示意图。

图3为本发明的废气处理设备的沉淀槽的结构示意图。

图4为本发明的废气处理设备的洗涤装置的结构示意图。

图5A及图5B为本发明的废气进入废气处理设备的流向示意图。

图6为本发明的洗涤液供应装置的结构示意图。

图7为本发明废气处理设备的洗涤装置另一实施例的结构俯视剖面示意图。

其中，附图标记说明如下：

1：洗涤塔废气处理系统

12：进气装置

14：洗涤液供应装置

141：循环泵

142：管路

16：沉淀槽

18：洗涤塔

2：废气处理设备

21：洗涤装置

21A：进气洗涤塔

21B：第一洗涤塔

21C：第二洗涤塔

21D：出气洗涤塔

21E：第三洗涤塔

21F：第四洗涤塔

213：中空管

214：进气管

215：出气管

23：沉淀槽

232：第一池体

233：第二池体

25：洗涤液供应装置

251：循环泵

252：管路

253：喷洒单元

具体实施方式