[发明专利]一种化学气相沉积炉

权利要求书

1. 一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有加热器，所述炉体底部设有进气管，其特征在于：所述炉体的内壁上设有与穿过炉壁的送气管相连的配气环，所述配气环上均匀配置有喷嘴。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述配气环的截面形状为长方形，所述配气环的内腔截面积大小为单个喷嘴内腔截面积大小的10~15倍。

3.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体为双层水冷炉体。

4.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述配气环每隔400～800mm布置一层。

5.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述喷嘴每隔100～400mm弧长布置一支，喷嘴的伸出端与待加工产品的距离为10～100mm，喷嘴的内径为4～12mm。

6.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述炉体内部设有保温层，所述保温层紧贴于配气环。

7.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述喷嘴前端设有U形槽。

8.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：还设有稀释气体罐、碳氢气体罐及与稀释气体罐和碳氢气体罐相连的混气罐，所述混气罐通过设有针型阀及气体流量计的管路分别与配气环和进气管相连。

9.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述喷嘴用高强石墨或炭/炭复合材料制成。