[发明专利]精密振镜校正系统

权利要求书

1.一种振镜校正系统，包括振镜校正板、振镜扫描模块、CCD图像采集装置和图像处理模块；振镜扫描模块控制激光在所述振镜校正板上形成矩阵标靶；CCD图像采集装置对所述振镜校正板上的矩阵标靶进行图像采集，图像处理模块对所述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行处理后，输出振镜补偿文件对振镜进行校正。

2.根据权利要求1所述的振镜校正系统, 其特征在于采用CCD校正时，在振镜校正板上切割一个圆孔，将CCD移至小圆位置，移动机台使得CCD捕捉到圆心位置，计算CCD Offset值，并输入到控制系统，完成CCD校正。

3.根据权利要求1所述的振镜校正系统, 其特征在于振镜扫描模块控制激光在振镜校正板上形成矩阵标靶，CCD图像采集装置对矩阵标靶进行图像采集。

4.根据权利要求1所述的振镜校正系统, 其特征在于图像处理模块同步对上述CCD图像采集装置采集的矩阵标靶进行处理，处理后生成振镜补偿文件对振镜进行校正。

5.根据权利要求4所述的振镜校正系统，其特征在于对振镜进行校正方法为：将振镜要校正的区域分成若干个小区域，激光打标靶下一个区域的同时，CCD即可拍照采集标靶上一个区域的位置图片，计算机同时对比理论标靶位置与采集的图片标靶位置，从而计算补偿，当打靶完成的同时，生成振镜校正文件。