[发明专利]具有双检验块的MEMS传感器

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS传感器，包括：

基底；

第一可动部件，在所述基底的基本平坦的表面之上以间隔开的关系布置；以及

第二可动部件，在所述基底的所述表面之上以间隔开的关系布置，所述第一和第二可动部件具有基本相同的形状，并且所述第二可动部件基本上被取向为相对于所述第一可动部件绕所述基底的所述平坦表面上的定位点旋转对称。

2.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中所述第二可动部件位于相对于所述第一可动部件绕所述定位点旋转大约180度的取向上。

3.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述第一可动部件适于响应于沿垂直于所述基底的所述平坦表面的轴的加速度而以第一方向旋转运动，所述旋转运动绕位于所述第一可动部件的第一和第二端部之间的第一旋转轴发生；并且

所述第二可动部件适于响应于所述加速度以第二方向旋转运动，所述旋转运动绕位于所述第二可动部件的第三和第四端部之间的第二旋转轴发生，所述第二方向与所述第一方向相反。

4.如权利要求3所述的MEMS传感器，其中所述第一和第二旋转轴沿公共旋转轴相互对齐。

5.如权利要求4所述的MEMS传感器，进一步包括：

第一悬置锚，形成在所述基底的所述平坦表面上，并且基本以所述公共旋转轴为中心；

第一顺从性构件对，连接所述第一可动部件与所述第一悬置锚，所述第一顺从性构件对使得所述第一可动部件能够绕所述第一旋转轴进行所述旋转运动；

第二悬置锚，形成在所述基底的所述表面上，并且基本以所述公共旋转轴为中心；以及

第二顺从性构件对，连接所述第二可动部件与所述第二悬置锚，所述第二顺从性构件对使得所述第二可动部件能够绕所述第二旋转轴进行所述旋转运动。

6.如权利要求3所述的MEMS传感器，其中：

所述第一可动部件包括位于所述第一旋转轴和所述第一端部之间的第一部分和在所述第一旋转轴和所述第二端部之间的第二部分，所述第一旋转轴在所述第一和第二端部之间偏移，使得所述第一旋转轴和所述第一端部之间的所述第一部分的第一长度大于所述第一旋转轴和所述第二端部之间的所述第二部分的第二长度；并且

所述第二可动部件包括位于所述第二旋转轴和所述第三端部之间的第三部分和位于所述第二旋转轴和所述第四端部之间的第四部分，所述第二旋转轴在所述第三和第四端部之间偏移，使得在所述第二旋转轴和所述第三端部之间的所述第三部分的第三长度小于在所述第二旋转轴和所述第四端部之间的所述第四部分的第四长度。

7.如权利要求6所述的MEMS传感器，其中：

所述第一长度基本上等于所述第四长度；并且

所述第二长度基本上等于所述第三长度。

8.如权利要求6所述的MEMS传感器，其中：

所述第一可动部件包括从所述第一部分的第一侧面延伸的第一侧向延伸部分，所述第一侧向延伸部分基本位于所述第二可动部件的所述第三端部；并且

所述第二可动部件包括从所述第四部分的第二侧面延伸的第二侧向延伸部分，所述第二侧向延伸部分位于邻近所述第一可动部件的所述第二端部。

9.如权利要求8所述的MEMS传感器，其中：

包括所述第一侧向延伸部分的所述第一可动部件形成第一L形可动部件；并且

包括所述第二侧向延伸部分的所述第二可动部件形成第二L形可动部件，在所述第一和第二L形可动部件之间没有接触的情况下，以嵌套结构布置所述第一和第二L形可动部件。

10.如权利要求1所述的MEMS传感器，其中：

所述第一和第二可动部件中的每一个适于绕公共旋转轴运动；并且

所述MEMS传感器进一步包括：

第一感测部件，配置在所述第一和第二可动部件中每一个下方位于所述基底上；以及

第二感测部件，配置在所述第一和第二可动部件中每一个下方位于所述基底上，所述第一和第二感测部件中的每一个离开所述公共旋转轴并且位于所述公共旋转轴的相对侧基本相等的距离，并且所述第一和第二感测部件适于检测所述第一和第二可动部件沿垂直于所述基底的所述平坦表面的轴绕所述公共旋转轴的运动。