[发明专利]X射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，尤其涉及一种通过对对象物进行X射线透视拍摄或者CT拍摄而进行X射线检查的技术。

背景技术

以往，这种X射线检查装置装载有在X射线检查之前预先设定观察点(即检查位置)并进行登记的被称为“教学(テイ一チング)”的功能。通过预先进行该教学，能够根据通过教学登记了的观察点进行X射线检查。

另外，作为X射线检查的对象物，有安装基板、多层基板的通孔/图案/钎焊接合部、配置在垫板上的集成电路(IC：Integrated Circuit)那样的安装前的电子部件、金属等的铸件、录像机那样的成型品。

关于X射线检查装置，现在，为了示出进行X射线检查的部分为样本(对象物)整体的哪个部分，有一种使用光学照相机形成外观像的装置(例如，参照专利文献1)。X射线检查装置通常对样本进行放大拍摄从而进行细部的观察，但使用光学照相机的外观像的装置，预先采用光学照相机对样本的全景进行光学拍摄，在通过该光学拍摄得到的外观像上示出现在观察的部分，由此使得使用者明白正在观察样本中的哪个部分。

又，在X射线检查装置中有的具有将过去拍摄的X射线像(透视拍摄的情况下为X射线透视像)一览显示的功能。使用者从被一览显示的图像中选择目标图像，对该图像执行对比度的调整、印刷、尺寸测量等的各种各样的功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-343193号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在想要从过去拍摄的一系列的X射线透视像中检索目标样本图像的情况下，X射线透视像有时是对样本的一部分扩大拍摄的像，仅根据X射线透视像，有时候难以明白拍摄了哪个样本。又，即便在知道对哪个样本进行了拍摄的情况下，还存在着仅根据X射线透视像难以知道正对样本中的哪个部分进行拍摄这样的问题。

本发明正是鉴于这样的情况而作出的，其目的在于提供一种能够根据对象物检索过去拍摄的图像、或者能够根据过去拍摄的图像知道对象物或者对象物中的哪个部分的X射线检查装置。

解决课题的手段

为了达到这样的目标，本发明具有以下的构成。

即，本发明所涉及的X射线检查装置(前者的发明)是对对象物进行X射线检查的X射线检查装置，其特征在于，具有：X射线照射单元，所述X射线照射单元对对象物照射X射线；X射线检测单元，所述X射线检测单元通过检测被照射的所述X射线进行所述X射线检查来取得该对象物的X射线像；光学照相机，所述光学照相机通过对对象物进行光学拍摄来取得该对象物的外观像；存储单元，所述存储单元使得通过所述X射线检测单元取得的X射线像和通过所述光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联并分别予以储存；图像选择单元，所述图像选择单元从过去被存储在所述存储单元中的由多个所述X射线像构成的X射线像群或者由多个所述外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像；和显示单元，所述显示单元读取与所述图像选择单元所选择的所述一方的图像相关联的、且过去被存储在所述存储单元中的另一方的图像并进行显示。

[作用、效果]采用本发明所涉及的检查装置(前者的发明)的话，使得通过X射线检测单元取得的X射线像和通过光学照相机取得的外观像相对于每个同一对象物互相关联，并分别储存在存储单元中。而且，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的由多个X射线像构成的X射线像群或者由多个外观像构成的外观像群的某一方的图像群中选择成为对象的一方的图像。读取与该图像选择单元所选择的一方的图像相关联的、且过去被存储在存储单元中的另一方的图像并在显示单元中进行显示。如果在成为选择对象的一方的图像为外观像的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物(样本)显示与之相关联的作为另一方的图像的X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。如果在成为选择对象的一方的图像为X射线像的情况下，能够根据被选择的X射线像显示与之相关联的作为另一方的图像的外观像，能够根据过去拍摄的图像知道对象物。

上述前者的发明的一个实例为，图像选择单元从过去被存储在存储单元中的外观像群中选择成为对象的外观像，显示单元读取与图像选择单元所选择的外观像相关联的、且过去被存储在存储单元中的X射线像并进行显示。在这一个实例的情况下，能够根据被选择的外观像的对象物显示与之相关联的另一方的图像即X射线像，能够根据对象物检索过去拍摄的图像。