[发明专利]光组件以及光分析装置有效
申请号: | 201210018178.X | 申请日: | 2012-01-19 |
公开(公告)号: | CN102621613A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 野泽武史 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 以及 分析 装置 | ||
1.一种光组件,其特征在于,具备:
干涉滤波器以及保持所述干涉滤波器的保持部件,
所述干涉滤波器具有:第一基板、与所述第一基板相对的第二基板、设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一反射膜、以及设置在所述第二基板上的隔着规定间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜,
所述干涉滤波器在沿基板厚度方向观察的俯视图中,具备设置有所述第一反射膜及所述第二反射膜的光干涉区域、以及向离开所述光干涉区域的方向突出的突出区域,
所述保持部件在所述突出区域的与所述光干涉区域相反侧的一端侧保持所述干涉滤波器。
2.根据权利要求1所述的光组件,其特征在于,
所述第一基板及所述第二基板形成为相同形状,
所述干涉滤波器具备与所述第一基板及所述第二基板中的任一个结合的支承基板,
所述突出区域设置在所述支承基板上。
3.根据权利要求1所述的光组件,其特征在于,
所述突出区域设置在所述第一基板及所述第二基板中的至少任一个上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光组件,其特征在于,
在所述突出区域上设置有用于吸收振动的振动吸收部。
5.一种光分析装置,其特征在于,具备权利要求1至4中任一项所述的光组件,
所述光组件具备用于接收通过所述干涉滤波器提取的检查对象光的光接收部,
所述光分析装置具备分析处理部,所述分析处理部根据通过所述光接收部接收到的所述检查对象光的光量,分析所述检查对象光的光特性。
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