[发明专利]低温真空镀膜装置

说明书

技术领域

 本发明涉及真空电镀领域，特别涉及一种低温真空镀膜装置。 

背景技术

 常见的真空电镀，被镀的产品一般都是金属制品，因为在真空电镀条件下，温度都比较高，传统的溅射镀膜也必须在高温条件下形成较密的膜层，塑料制品等不能耐受高温，否则将引起产品变形。 

发明内容

为解决前述存在的问题，本发明提供一种低温真空镀膜装置，该装置一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接，真空镀膜腔体设有分子真空泵，并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源，清洗被镀工件，真空镀膜腔体温度低于80⁰C，被镀工件放置于真空镀膜腔体内，用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜，膜源的粒子方向是可调整的，可从不同的角度对被镀工件进行镀膜。

被镀工件是金属制品、或是非金属制品、或是塑料制品、或是橡胶制品。

本发明的优点是，被镀工件即使在小于80⁰C温度条件下，仍有足够的镀层厚度，而且耐磨、耐腐蚀，并且能够镀制小型、细薄的塑料制品而不使产品变形，特别适用于某些精细加工行业。 

附图说明

附图1是本发明主视图；

附图2是附图1的侧视图。 

具体实施方式

请参阅附图1、2所示，本发明是一真空镀膜腔体3与过滤阴极离子真空镀膜源1连接，真空镀膜腔体3设有分子真空泵4，并在真空镀膜腔体3设有离子束清洗源，清洗被镀工件，真空镀膜腔体3温度低于80⁰C，被镀工件塑料制品，或橡胶制品放置于真空镀膜腔体3内，用过滤阴极离子真空镀膜源1对其镀膜，膜源1经过滤器2后的粒子方向能够调整，可以从不同的角度对被镀工件进行镀膜。

本发明的过滤阴极离子真空镀膜源1是申请人的专利，属现有技术。