[发明专利]决定用以控制工件离子植入的相对扫描速度

权利要求书

1.一种使用一离子植入设备的一离子束，离子植入一实际工件的方法，特其征在于该方法包含：

模拟一虚拟工件的离子植入，借以决定一选定相对速度分布特性，该选定相对速度分布特性应用于使用该离子植入设备的该离子束扫描该实际工件，其中，模拟包含：

(a)基于至少一离子束分布特性以及该离子束与该虚拟工件之间的一相对速度分布特性，计算该虚拟工件上的一剂量分布；

(b)基于至少所计算的该剂量分布与用于计算该剂量分布的该相对速度分布特性，决定该离子束与该虚拟工件之间的一新相对速度分布特性；

(c)基于至少该离子束分布特性与步骤(b)所决定的该新相对速度分布特性，计算该虚拟工件上的一新剂量分布；

(d)如果步骤(c)的该新剂量分布不符合一个或多个预定标准时，重复步骤(b)与步骤(c)；以及

(e)当所计算的该虚拟工件上的该新剂量分布符合该一个或多个预定标准时，储存步骤(b)所决定的该新相对速度分布特性作为该选定相对速度分布特性；以及

应用步骤(e)所储存的该新相对速度分布特性，借由使用该离子植入设备的该离子束扫描该实际工件一次或多次，植入该实际工件。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于更包含：在步骤(a)-(c)之前，测量该离子植入设备的该离子束，借以得到要用于步骤(a)-(c)的该离子束分布特性，其中，该离子束分布特性包含离子束宽度、离子束高度、离子束强度、离子束功率、离子束形状、离子束电流的至少其中之一。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于其中所述的离子植入设备的该离子束分布特性在决定该新相对速度分布特性的仿真期间与扫描该实际工件的植入期间维持固定，没有进行进一步调整。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于其中所述的植入该实际工件包含倾斜该实际工件至相对于该离子束的一非垂直角度。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于其中所述的一倾斜曲线应用于步骤(a)与步骤(c)的计算该剂量分布，其中，该倾斜曲线是两个或多个该实际工件要被倾斜的不同角度。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于其中所述的植入该实际工件包含在大致垂直该离子束的一平面，连续旋转该实际工件，其中，一旋转速度分布特性应用于步骤(a)与步骤(c)的计算该剂量分布，其中，该旋转速度分布特性是该实际工件要被旋转的速度。 

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于其中所述的实际工件以一固定速度被连续旋转，其中，该旋转速度分布特性是该固定速度。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于其中所述的实际工件以一变化非零速度被连续旋转，其中，该旋转速度分布特性是该变化非零速度。

9.如权利要求6所述的方法，其特征在于其中所述的在步骤(b)，基于至少所计算的该剂量分布与用于计算该剂量分布的该旋转速度分布特性，决定一新旋转速度分布特性，其中，该新旋转速度分布特性用于步骤(c)的计算该剂量分布，其中，该新旋转速度分布特性在步骤(e)储存。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于其中所述的在植入过程中，使用在步骤(e)所储存的该新相对速度分布特性与该新旋转速度分布特性，使用该离子植入设备的该离子束扫描该实际工件一次或多次。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于其中所述的植入包含使用该离子束扫描该实际工件二次或多次。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于其中所述的植入包含旋转该实际工件一或更多离散量，其中，在每次离子束扫描之前，该工件旋转该一或更多离散量，然后，该工件停止旋转，其中，一旋转曲线应用于步骤(a)与步骤(c)的计算该剂量分布，其中，该旋转曲线是该实际工件要被旋转的该一或更多离散量。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于其中所述的在步骤(b)，基于至少所计算的该剂量分布与用于计算该剂量分布的该旋转曲线，决定一新旋转曲线，其中，该新旋转曲线用于步骤(c)的计算该剂量分布，其中，该新旋转曲线在步骤(e)储存。