[发明专利]结晶硅制造设备用的搬运设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅结晶体制造设备用的搬运设备，设置有搬运车沿着被设定为经过制造硅结晶体的多个硅结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体。

背景技术

以过往的前述结晶硅制造设备用的搬运设备为例，设置有作为结晶炉的单结晶硅体制造装置(以下简称单结晶炉)，设置有搬运车沿着在被设定经过多个单结晶炉的状态下的直线状移动路径上自由移动且自由搬运单结晶炉所制造的单结晶硅体(例如请参照专利文献1)。

单结晶炉为一种将硅石中取得的金属硅精制、析出后将多结晶硅溶融于例如备有可自由拆卸的石英制坩埚，通过于坩埚将晶种浸于溶融的硅中并慢慢拉起，使与此晶种具同样方向配列的单结晶被成长，最后成为大圆柱状的铸块的加工装置。

上述专利文件1的搬运装置是，于移动路径上行走移动，将被投入单结晶硅的原料的坩埚从设定于与移动路径的端部对应的位置的坩埚搬入区块搬运至单结晶炉，并将铸块从单结晶炉搬运至设定于与移动路径的端部对应的位置的铸块搬出区块。

因此，搬运坩埚至单结晶炉的作业或是从单结晶炉搬运铸块的作业皆可排除作业员，达到于硅结晶制造设备中减轻作业员的劳力。

专利文献1：日本特开2010-132508号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

但以往的硅结晶制造设备用的搬运设备是，如上述般，将单结晶炉所制造的铸块由搬运车进行搬运，可减轻作业员从单结晶炉搬运铸块的劳力，搬运车搬运至搬出区块的铸块，由作业员换乘至别的台车后，为了加工成基板状而由人为作业搬运至切削加工机或是通过利用其它搬运单元搬运至切削加工机。

顺带一提，在制造太阳能电池用的半导体基板的情形，经常使用多结晶硅体作为硅结晶体。

多结晶硅体是，于多结晶炉使用可自由卸载的量杯状例如石墨制的坩埚，铸造成扁平长方体形状，之后，通过加工机纵断成角柱状，之后，将角柱状的多结晶硅体进行切削加工。因此，与圆柱状的单结晶硅体不一样，在使用多结晶硅体的情形，切削成基板状前，必须通过加工机进行角加工的步骤将扁平长方体纵断加工成角柱状。

然而，将以往的硅结晶制造设备用的搬运设备用于多结晶硅体的制造设备的话，搬运车只有搬运多结晶炉所铸造的多结晶硅体，之后为了角加工送至加工机需要由人为作业来搬运，或是由其它的搬运单元进行搬运。

因此，对多结晶硅体来说，角加工的步骤为必要的部分，对于以往的硅结晶制造设备用的搬运设备，到多结晶硅体被供给至切削加工机为止，多结晶硅体会发生多次的换乘作业，给予作业员较大的负担。

再且，单结晶炉与多结晶炉是，为了于接近摄氏1000度的高温下将多结晶硅溶融，单结晶炉或多结晶炉被设置的空间会成为高温环境，将多结晶硅纵断加工成角柱状的步骤中，由于冷却切断时所产生的热的切削油形成油雾扩散于大气环境中，以往，为了避免设置多结晶炉的空间与设置加工机的空间相互受到环境的影响设置有分隔壁将其区隔。为此，为了从一侧空间移动至另一侧空间，必须使连通两空间的联络口开通，不能自由移动于两空间之间。因此，在从设置多结晶炉的空间至设置加工机的空间中进行搬运多结晶体硅的作业会有许多问题。

本发明有鉴于上述的实际情况，目的在于提供一种硅结晶制造设备用的搬运设备，能够减轻作业员至多结晶硅体进行纵断加工为止的作业负担。

【用以解决课题的手段】

为了达成此目的，关于本发明的结晶硅制造设备用的搬运设备的第一特征构成为，在设置有搬运车沿着被设定经过多个结晶炉的状态下的移动路径上自由移动且自由搬运前述结晶炉所制造的结晶硅体的结晶硅制造设备用的搬运设备，

前述多个结晶炉是，用来铸造多结晶硅的多结晶炉，前述移动路径被设定为直线状。位于前述移动路径的长边方向的一侧部分的一侧空间、以及位于前述移动路径的长边方向的另一侧部分的另一侧空间，通过形成让前述搬运车自由通过的通过用开口的分隔壁分隔并相互邻接而配置，前述多个多结晶炉所铸造的多结晶硅体进行纵断加工的多加工机，沿着前述另一侧空间中的前述移动路径的另一侧部分所配置，前述搬运车，可将于前述多结晶炉所铸造的前述多结晶硅体自由搬运通过前述分隔壁从前述多结晶炉送至前述加工机的等特点所构成。

根据本特征构成，因为被配置成相互邻接的一侧空间与另一侧空间用分隔壁所分隔，可防止一侧空间的环境(例如，因配置多个多结晶炉而导致的高温环境)以及另一侧空间的环境(例如，因配置多个加工机而导致的粉尘或油雾浮游的环境)之间互相影响。