[发明专利]一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1)、将光敏型聚酰亚胺树脂与直径为3-4微米的铝粉末搅拌混合，使铝粉末颗粒均匀分布于树脂中，形成树脂混合物，两者的质量混合比例为1：2；

2)、在匀胶机上采用旋涂的方式使树脂混合物均匀涂布于硅基底表面，控制匀胶机旋转盘转速使树脂混合物厚度约5微米；涂布了树脂混合物的硅基底在热板上进行前烘，烘烤温度为120℃，烘烤时间为3分钟；

3)、对涂布了树脂混合物的硅基底曝光，在非致冷探测器像元表面光刻出与像元同样大小的图形；对树脂混合物在正胶显影液中显影后，去除非像元处的树脂混合物，使其图形化；

4)、将涂布有聚酰亚胺树脂的硅基底置于150℃烘箱中烘烤2小时，使聚酰亚胺树脂亚胺化，形成聚酰亚胺薄膜；

5)、用氧等离子体去胶机对硅基底进行刻蚀，将聚酰亚胺薄膜厚底减薄到2微米，使被聚酰亚胺包覆的铝粉末颗粒全部或部分露出；

6)、在室温下将硅基底浸泡于浓度为10％的四甲基氢氧化铵溶液中，湿法腐蚀铝粉末颗粒，直至铝粉末颗粒被完全腐蚀去除，用去离子水冲洗硅基底，将10％四甲基氢氧化铵残余溶液冲洗干净，将硅基底置于60℃烘箱中烘烤2小时，去除吸附的水份。