[发明专利]触摸感应基板

说明书

技术领域

本发明的示例实施例涉及触摸感应基板以及制造该触摸感应基板的方法。更具体地，本发明的示例实施例涉及能够改善工艺可靠性的触摸感应基板以及制造该触摸感应基板的方法。

背景技术

在液晶显示(LCD)面板领域，除了显示图像之外，具有输入功能的触摸显示面板已经被发展为包括用于感应触摸位置的感应元件的触摸显示面板。具体地，触摸显示面板可以包括：显示基板，显示图像的像素电极和连接到像素电极的开关元件形成在第一基板上；触摸感应基板，检测光的感应元件和控制该感应元件的驱动元件形成在第二基板上；以及液晶层，设置在显示基板与触摸感应基板之间。

如果外部触摸被施加在触摸显示面板上，则光变成入射到感应元件，光电流由入射光在感应元件中产生。电连接到触摸显示面板的检测电路利用光电流与感应元件的暗电流之间的差异来检测触摸位置，该暗电流在入射光被吸收之前被确定。

触摸感应基板可以包括感应第一光的第一光感应元件和感应第二光的第二光感应元件。由于第一和第二光感应元件感应彼此不同的光，所以第一和第二光感应元件具有包括彼此不同的半导体材料的有源图案从而降低感应噪声。因此，形成第一光感应元件，然后第二光感应元件形成在其上形成有第一光感应元件的触摸感应基板上。

在制造光感应元件的方法中，半导体材料利用第一光刻工艺被图案化以在基底基板上形成有源图案。源极电极和漏极电极利用第二光刻工艺形成在形成有有源图案的基底基板上。有源图案具有由于第一光刻工艺而引起的不均匀侧面轮廓，这会导致缺陷。例如，不均匀侧面轮廓的缺陷可以包括从覆盖有源图案的未蚀刻绝缘层保留的尖端、由于没有被蚀刻停止层覆盖的有源图案引起的纵梁(stringer)等。另一缺陷可以是由于源极电极和漏极电极在形成有源图案之后形成，所以源极电极和漏极电极可能由于有源图案的不均匀侧面轮廓而短路。

发明内容

本发明的示范性实施例提供能够改善源极电极和漏极电极的工艺可靠性的触摸感应基板。

本发明的示范性实施例还提供一种制造以上触摸感应基板的方法。

本发明的额外方面将在以下的描述中阐述，并将部分地从该描述而显然，或者可以通过实践本发明而习知。

本发明的示范性实施例公开了一种触摸感应基板，包括：基板；第一光感应元件，在基板上并配置为感应第一光，第一光感应元件包括第一栅极电极、与第一栅极电极交叠的第一有源图案、与第一有源图案部分地交叠的第一源极电极和与第一有源图案部分地交叠的第一漏极电极，第一栅极电极、第一有源图案、第一源极电极和第一漏极电极设置在基板上；第二光感应元件，在基板上并配置为感应第二光，第二光感应元件包括第二栅极电极、与第二栅极电极交叠且包括不同于第一有源图案的材料的第二有源图案、与第二有源图案部分地交叠的第二源极电极以及与第二有源图案部分地交叠的第二漏极电极，第二栅极电极、第二有源图案、第二源极电极和第二漏极电极设置在基板上；第一偏置线，连接到第一栅极电极和第二栅极电极。

在根据本发明的制造触摸感应基板的示例方法中，带通滤波器、栅极线以及连接到栅极线的第一栅极电极形成在基板上。第一绝缘层、第一半导体层、第一欧姆接触层、第一金属层和第二金属层形成在其上形成有第一栅极电极的基板上。第一半导体层、第一欧姆接触层、第一金属层和第二金属层利用第一光致抗蚀剂图案被图案化以形成与第一栅极电极图案交叠的第一有源图案、与第一有源图案交叠的第一电极图案、第二有源图案和与第二有源图案交叠的第二电极图案，该第一光致抗蚀剂图案具有第一厚度的第一光致图案和第二厚度的第二光致图案。第一和第二电极图案的第二金属层利用通过部分蚀刻第一光致抗蚀剂图案形成的第三光致图案而图案化。第一金属层利用被图案化的第二金属层而图案化以形成第一源极电极、第一漏极电极、第二源极电极和第二漏极电极。与第一有源图案交叠的顶栅极电极、与第二有源图案交叠的第二栅极电极、连接到第一源极电极上侧的第一源极连接电极、连接到第二源极电极上侧的第二源极连接电极、连接到第一漏极电极上侧的第一漏极连接电极、连接到第二漏极电极上侧的第二漏极连接电极以及与栅极线交叉的读出线和偏置线被形成。

根据本发明，源极电极和漏极电极通过接触孔连接到源极连接电极和漏极连接电极，从而可以防止源极电极和漏极电极短路。此外，源极电极和漏极电极利用具有彼此不同的蚀刻选择性的两个金属层而图案化，从而可以简化制造工艺。

应当理解，以上的一般性描述和下面的具体描述是示范性和解释性的，意在提供对所主张的本发明的进一步说明。

附图说明