[发明专利]化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法

权利要求书

1.一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，包括减反射膜原料供料装置（11）、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置（19）、废气处理装置（15）、设置有喷嘴（8）及排废气通道（10）的镀膜器（17）以及恒温装置，所述减反射膜原料供料装置（11）与所述汽化装置（19）的汽化室管连通，所述的汽化室与所述镀膜器（17）的喷嘴（8）管连通，所述排废气通道（10）与所述废气处理装置（15）管连通。

2.如权利要求1所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述汽化装置（19）还包括密封的壳体（27）及载气供应装置（14），所述汽化室为旋风管（32），其固定设置在所述壳体（27）内，所述旋风管(32)由所述恒温装置加热，所述旋风管（32）的一端与载气进气管（28）相连通，所述旋风管（32）的另一端与液相原料进料管（24）相连通，汽化原料出料管（35）与所述旋风管相连通，在所述旋风管（32）内设置有旋流器（30），所述旋流器（30）为螺旋轴，所述螺旋轴的轴线与所述旋风管的轴线平行设置。

3.如权利要求2所述的旋流干式蒸发器，其特征在于，所述恒温装置为热油恒温装置（12），所述壳体（27）与所述旋风管(32)间设置有供热油流通的输热空间（36），所述壳体（27）通过其上设置的热油进口(31)和热油出口（26）与所述热油恒温装置的热油出口及热油进口对应相连通。

4.如权利要求2所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述喷嘴（8）通过减反射膜原料汇流管（3）与所述汽化室管连通，所述排废气通道（10）通过废气汇流管（2）与废气处理装置（15）管连通，其特征在于：所述的喷嘴（8）和排废气通道（10）由间隔块（7）间隔形成，所述的喷嘴（8）和排废气通道（10）并行交错设置。

5.如权利要求4所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述恒温装置为热油恒温装置（12），所述的间隔块(7)上设置有恒温油管(9)，恒温油管(9)的进油口及其出油口分别与所述的热油恒温装置（12）的出油口及其进油口对应管连通。

6.如权利要求4所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述每个喷嘴(8)的两侧分别设置一排废气通道(10)。

7.如权利要求4所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述镀膜器设置有喷嘴固定装置，所述喷嘴固定装置由喷嘴板（6）及吊挂梁（5）组成，所述喷嘴板（6）通过吊挂件（4）与所述吊挂梁（5）固定连接，所述间隔块（7）与所述喷嘴板（6）固定连接。

8.如权利要求7所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，在所述的喷嘴板（6）上与喷嘴（8）及排废气通道（10）对应设置有通孔，所述喷嘴（8）通过所述通孔与所述减反射膜原料汇流管（3）相连通，所述排废气通道（10）通过所述通孔与所述废气汇流管（2）相连通。

9.如权利要求3或5所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备，其特征在于，所述的热油恒温装置由油加热器（21）、油冷却器(22)及连接二者的管路串接组成，所述油加热器(21)的油出口为热油恒温装置的油出口，油冷却器(22)的进油口为恒油热油装置的油进口，油加热器(21)、油冷却器(22)分别设置有温度感应装置与电气控制装置电连接。

10.一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的方法，其特征在于：在玻璃成型后、退火前镀制玻璃减反射膜。

11.如权利要求10所述的化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的方法，其特征在于，所述的镀制玻璃减反射膜包括如下步骤：

A、配、送料：减反射膜原料按比例、经输送泵加压后进入汽化装置；

B、液相减反射膜原料汽化：液相反射膜原料由汽化装置进行汽化形成汽相减反射膜原料；

C、沉积：汽相减反射膜原料进入镀膜器，由喷嘴（8）喷向成型的热玻璃带表面，汽相减反射膜原料及气体原料经热玻璃带（18）高温快速加热分解后沉积在热玻璃带表面形成玻璃减反射膜膜层，完成玻璃表面减反射膜的镀制。