[发明专利]丝网印刷方法及其装置

权利要求书

1.一种丝网印刷装置，具备：

掩模保持机构，其保持丝网印刷用的掩模；

台机构，其载置进行丝网印刷的试料并使该试料上下移动；

刮板机构，其具备刮板，该刮板经由上述掩模在载置于上述台机构的试料上印刷膏剂的图案；以及

刮板驱动机构，其使该刮板机构的刮板沿着上述掩模往复移动，

该丝网印刷装置的特征在于，

上述刮板机构的刮板上形成有凹部，该凹部形成在当将该刮板按压于上述掩模时、比该刮板接触掩模的位置更靠印刷时的移动方向的前方处，该凹部以如下方式形成：该凹部的与接触上述掩模一侧相反的一侧的端部向上述掩模一侧突出且与上述掩模之间空出有缝隙，

至少包含该凹部的该刮板前端部的表面具有排斥上述膏剂的憎液性。

2.一种丝网印刷装置，具备：

掩模保持机构，其保持丝网印刷用的掩模；

台机构，其载置进行丝网印刷的试料并使该试料上下移动；

刮板机构，其具备刮板，该刮板经由上述掩模在载置于上述台机构的试料上印刷膏剂的图案；以及

刮板驱动机构，其使该刮板机构的刮板沿着上述掩模往复移动，

该丝网印刷装置的特征在于，

在上述刮板机构的刮板上，在当将该刮板按压于上述掩模时该刮板接触掩模的位置与该刮板的膏剂初始接触面之间形成有积存上述膏剂的凹部，上述刮板的膏剂初始接触面在印刷时当上述刮板以按压于上述掩模的状态被上述刮板驱动机构驱动时最先接触膏剂，

至少包含该凹部的该刮板前端部的表面具有排斥上述膏剂的憎液性。

3.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

上述刮板的凹部形成有，在上述印刷时当上述刮板以按压于上述掩模的状态被上述刮板驱动机构驱动时上述膏剂在上述凹部的内部滚动的空间，

至少包含该凹部的该刮板前端部的表面具有憎液性。

4.根据权利要求3所述的丝网印刷装置，其特征在于，

上述刮板的凹部以如下方式形成：当将该刮板按压于上述掩模时，上述凹部的与接触上述掩模一侧相反的一侧的端部和上述掩模之间空出有上述膏剂粒子的平均粒径的10倍以上的缝隙，

包含该凹部的该刮板前端部的表面具有憎液性。

5.根据权利要求3所述的丝网印刷装置，其特征在于，

上述刮板由以聚氨酯为主要成分的硬度为80度以上的树脂形成，至少包含该凹部的该刮板前端部的表面具有憎液性。

6.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

上述刮板将具有导电性的材料作为芯材，上述芯材的周围由以聚氨酯为主要成分的树脂形成，至少包含该凹部的该刮板的前端部的表面具有憎液性。

7.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

在上述刮板的前端部的表面具有憎液性的部分的表面上，形成有由SiO₂、氟树脂、烃、含氟烃中至少一种的材料构成的膜。

8.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

在上述刮板的前端部的表面具有憎液性的部分的表面上，形成有类金刚石炭的膜。

9.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

在上述刮板的前端部的表面具有憎液性的部分的表面上，形成有含氟类金刚石炭的膜。

10.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

在上述刮板的前端部的表面具有憎液性的部分的表面上，复合形成有由类金刚石炭和含氟类金刚石碳构成的膜。

11.根据权利要求1或2所述的丝网印刷装置，其特征在于，

上述刮板的表面比上述刮板的内部的材料憎水性高。