[发明专利]一种太阳能电池晶片的加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及加工生产领域中的一种晶片的加工方法，特别涉及一种太阳能电池晶片的加工方法。

背景技术

考虑太阳能电池晶片的质量优劣，主要考虑如下几个因素：脱水性能、是否存在水痕水纹和粘片；甩干后是否带水及甩干机是否碎片；刻蚀后片子的温度、边缘及整体亮度和刻蚀宽度；气孔是否均匀及片内色差；印刷图形的质量等，现有太阳能电池晶片的加工方法在这些方面做得不够，如存在色差、晶片内有气泡或刻蚀宽度不一等。

发明内容

针对现有太阳能电池晶片加工方法的缺陷，本发明提供了一种太阳能电池晶片的加工方法。

为了实现上述目的，本发明所采取的措施是：

一种太阳能电池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步骤：清洗、甩干、扩散、刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包；

所述清洗步骤中，依次包括以下步骤：预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、去氧化层、漂洗和喷淋；

所述甩干和复甩干步骤中采用的甩干机的温度为140℃，转速为300，喷氮时间为300秒；

所述扩散步骤中，依次包括以下步骤：放舟、连续升温、恒温、连续扩散、深扩散、降温与氧钝化和取舟；

所述刻蚀步骤中，依次包括以下步骤：预抽、主抽、送气、恒压、辉光、清洗和充气；

所述去PSG步骤中，依次包括以下步骤：酸洗、连续漂洗和喷淋；

所述PECVD步骤中，依次包括以下步骤：开始、充氮、取舟、放舟、慢抽、主抽、恒温、恒压、预淀积、恒压、淀积、抽空、抽空、充氮抽空和结束；

所述丝网印刷及烧结步骤中，依次包括以下步骤：背电极的印刷、上浆和烘干，背电场的印刷、上浆和烘干，正电极的印刷、上浆和烘干，烧结；

所述成品分选步骤中，依次包括以下步骤：测试电池片功率、进行分类、分选色差、数量和打包。

本发明的有益效果：产品不存在水痕水纹和粘片，刻蚀后片子的温度合适，边缘及整体亮度和刻蚀宽度适中，片内无色差，印刷图形的质量好。

附图说明

图1、本发明的加工工艺流程方框图。

具体实施方式

一种太阳能电池晶片的加工方法，加工方法依次包括以下步骤：清洗、甩干、扩散、刻蚀、去PSG(磷硅玻璃)、复甩干、PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包；

所述清洗步骤中，依次包括以下步骤：预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、去氧化层、漂洗和喷淋，具体操作数据如下表：