[发明专利]一种单芯片三轴陀螺仪

权利要求书

1.一种单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述单芯片三轴陀螺仪包括：

质量块，所述质量块包括相互耦合的主质量块和耦合质量块，所述主质量块为偶数个且沿Y轴对称设置于所述耦合质量块两侧；

电极层组，所述电极层组包括第一电极层组、第二电极层组和第三电极层组，所述第一电极层组、第二电极层组与所述质量块之间具有间隙，且所述第一电极层组沿Y轴对称设置于所述第二电极层组的两侧，所述第一电极层组位于所述质量块的正投影内，所述第二电极层组位于所述耦合质量块的正投影内，所述第三电极层组包括一组静止型细长平板和一组活动型细长平板，所述第三电极层组通过弹性部件与所述主质量块连接；

驱动梳齿组，所述驱动梳齿组与主质量块连接，用以输入信号并驱动所述主质量块移动。

2.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述单芯片三轴陀螺仪还包括第一锚点和第二锚点，所述第一锚点与主质量块连接，所述第二锚点与耦合质量块连接。

3.根据权利要求2所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述第一锚点与主质量块之间通过第一弹性部件连接，所述第二锚点与耦合质量块之间通过第二弹性部件连接。

4.根据权利要求3所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述第一弹性部件包括长直梁和短梁，所述第一弹性部件与主质量块之间由长直梁连接，所述第一弹性部件与所述第一锚点之间由短梁连接。

5.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述单芯片三轴陀螺仪还包括检测梳齿组，所述检测梳齿组与所述驱动梳齿组组成闭环负反馈系统。

6.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述第一电极层组位于所述主质量块的正投影内。

7.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述第一电极层组位于所述耦合质量块的正投影内。

8.根据权利要求1或所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述第三电极层组沿Y轴对称设置于所述主质量块内。

9.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述弹性部件包括支撑梁。

10.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述驱动梳齿组内包括若干个驱动梳齿，所述每个驱动梳齿内包括一个驱动活动梳齿和一个驱动静止梳齿。

11.根据权利要求1所述的单芯片三轴陀螺仪，其特征在于：所述主质量块与耦合质量块之间采用耦合梁实现耦合。