[发明专利]尺寸测量设备、尺寸测量方法及用于尺寸测量设备的程序

说明书

技术领域

本发明涉及尺寸测量设备、尺寸测量方法和用于尺寸测量设备的程序。更具体地说，本发明涉及尺寸测量设备的改进，其中该尺寸测量设备基于通过拍摄工件获得的工件图像的边沿来测量可在Z方向移动的可移动台上的工件的尺寸。

背景技术

通常，尺寸测量设备是这样一种设备，其基于通过拍摄工件而获得的工件图像的边沿来测量工件的尺寸，并且可以称为图像测量设备(例如，日本未审查专利公开No.2009-300124，日本未审查专利公开No.2009-300125，日本未审查专利公开No.2010-19667)。一般来说，工件置于可在X轴、Y轴和Z轴方向移动的可移动台上。可移动台在Z轴方向上移动从而执行工件图像的聚焦调整，并且在X轴和Y轴方向上移动从而在视场内执行工件的定位。

无论移动台在Z轴方向上的位置如何，工件图像都具有与工件的形状非常精确类似的形状，并且由此确定图像上的距离和角度可以检测工件图像上的实际尺寸。在借助这种尺寸测量设备测量工件的尺寸的情况下，增大拍摄放大率可以带来测量精度的提高。然而，视场深度随着拍摄放大率的增加而降低，由此在工件具有超过视场深度的阶梯的情况下，只有工件的一部分位于焦点。由此问题在于难以掌握工件的整个图像从而测量设置并不容易。尤其当将工件中具有不同Z方向高度的多个位置设置为待测对象时，为了将这些位置中的各个位置指定为待测对象，需要手动调整可移动台的Z方向位置从而执行聚焦调整。由此问题在于测量设置的操作过程复杂并且花长时间执行测量设置。

发明内容

基于以上情况完成本发明，本发明的一个目的在于提供一种能够高精度测量工件尺寸、同时即使当工件是具有超过视场深度的阶梯的工件时也易于将位置设置为待测对象的尺寸测量设备。

尤其是，一个目的在于提供一种能够改善测量精度同时易于将具有不同Z方向高度的多个位置设置为待测对象的尺寸测量设备。此外，一个目的在于提供一种能够简化用于测量设置的操作过程同时减少针对工件的测量设置和尺寸测量所需时间的尺寸测量设备。

而且，本发明的一个目的在于提供一种能够高精度测量工件的尺寸同时简化用于测量设置的操作过程而且还能够减少针对工件的测量设置和尺寸测量所需时间的尺寸测量方法。

而且，本发明的一个目的在于提供一种用于尺寸测量设备的程序，其使得终端装置起到上述尺寸测量设备的功能。

根据第一发明的尺寸测量设备为这样的一种尺寸测量设备：其基于通过拍摄工件获得的工件图像的边沿来测量可在Z方向移动的可移动台上的工件的尺寸。该尺寸测量设备构造为包括：成像部分，其拍摄可移动台上的工件以生成工件图像；深度延伸部分，其对可移动台中不同Z-方向位置处的两个或多个工件图像执行深度延伸，以生成深度延伸图像；主要图像显示部分，其将通过拍摄主要工件获得的深度延伸图像屏幕显示为主要图像；测量位置信息生成部分，其针对主要图像指定待测位置以及测量方法，以生成测量位置信息；边沿提取部分，其基于测量位置信息从通过拍摄工件获得的深度延伸图像中提取待测位置的边沿；以及尺寸值计算部分，其基于提取的边沿获得待测位置的尺寸值。

借助这种构造，由于通过拍摄主要工件获得的深度延伸图像被用作主要图像来指定待测位置和测量方法，所以即使在工件具有超过成像部分的视场深度的阶梯时，只要工件具有与主要工件相同形状，就可以容易地掌握工件的整个图像。这可以便于将工件中具有不同Z方向高度的多个位置设置为待测对象。而且，由于从通过针对如此设置的待测位置拍摄工件而获得的深度延伸图像来提取边沿以计算尺寸值，所以可以在对工件进行尺寸测量时无需手动调整可移动台的Z方向位置的情况下获得理想尺寸。即，用户可以在无需了解到工件的阶梯的情况下执行待测位置的设置和真实尺寸测量。由此，可以改善测量精度同时简化尺寸测量的操作过程，并且还减少了尺寸测量所需时间。