[发明专利]具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法，更为详细地涉及一种在断线时能够进行迅速的感测，以最大限度地减少线锯装置的构件及被切割的晶片的破损的具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法。

背景技术

一般来说，在锭块的成长(growth)工序结束之后，为了将锭块制成晶片，进行按单片单位切割锭块的切片工序。

这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯(Wire Saw)方式，即为在腔室内使钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷射淤浆(slurry)溶液，通过沾在线上的淤浆和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。

线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因此目前被广泛地应用。

韩国专利第887494号公开一种采用线锯的锭块切割装置。其中公开：横梁，即为固定锭块的单元，所述锭块设置于在腔室内侧的两个辊轮上缠绕300～400圈的线的上方，所述横梁的底面供锭块附着；工作板，底面供所述横梁附着，侧面具有嵌合形状；锭块送料台，具备与工作板的嵌合形状配合的凹槽，供安装所述工作板的嵌合形状结构。

利用如上锭块切割装置将锭块切割成厚度非常薄的晶片，此时为了感测被卷曲的线有无发生断线，具备电压感测装置，该电压感测装置施加规定的电压，并检测所施加的电压。

即，通过所述电压感测装置对线施加规定电压，并在所施加的电压为0V时，判断为线已断线。

然而在线未被断线的状态下，施加于线的张力暂时减小，从而线与腔室内侧或其它构件接触的情况等，具有误检测率高等问题。

由此，在线的断线之外的情况下，在停止整体线锯装置驱动的状态下，需要由操作人员逐个地直接检查在哪个部分产生错误检测的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法，所述装置和方法通过预先设定的参考电压感测线的断线与否，从而能够提高感测断线的精确度。

此外，本发明的另一目的是提供一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法，所述装置和方法随着断线感测精确度的提高，无需操作人员进行不必要的线锯装置的检测等，从而能够改善生产效率并提高作业效率。

此外，本发明的另一目的是提供一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置及利用该装置的断线感测方法，该装置和方法设置有使线轴及绕线管和使之旋转的各驱动电机彼此绝缘的绝缘部件，从而施加于线的电压不会影响各驱动电机的驱动状态。

上述课题可通过本发明的以下方案来实现：一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置，包括：至少两个主辊，供切割锭块而配置；线，经由向所述主辊供给线的线轴及从所述主辊回收线的绕线管之间，所述锭块切割用线锯装置具备感测所述线的断线与否的断线感测单元，其特征在于，所述断线感测单元设置为设定有识别所述线的断线与否的参考电压，且对所述线施加预先设定的设置电压并进行检测，在施加所述设置电压的状态下，驱动所述线锯装置并检测所施加的电压，若检测电压低于所述参考电压，则判断为所述线已断线。

此外，上述课题可通过本发明的以下方案来实现：一种具备断线感测单元的锭块切割用线锯装置，包括：至少两个主辊，供切割锭块而配置；线，经由向所述主辊供给线的线轴及从所述主辊回收线的绕线管之间，所述锭块切割用线锯装置具备感测所述线的断线与否的断线感测单元，其特征在于，所述断线感测单元包括：电源部，配置在所述线轴和所述绕线管之间，对所述线施加预先设定的设置电压；控制器，位于所述电源部和所述线轴之间或所述电源部和所述绕线管之间，预先设定有识别所述线的断线与否的参考电压，且检测所述线的电压，若检测电压低于所述参考电压，则判断为断线。

其中，所述控制器可在所述检测电压超过0V且低于所述参考电压时判断为所述线已断线。

此外，所述控制器可在所述检测电压为0V时，判断为所述线已断线且与所述线锯装置的规定部分接触。

此外，所述控制器可包括：检测所述线的电压的电压检测部；及将检测电压与所述参考电压比较以判断所述线的断线与否的对比判断部。

此外，所述电源部可包括：电源施加部件，设置在所述线轴和所述绕线管之间，对所述线施加电源；以及第一电阻件和第二电阻件，设置在所述电源施加部件的两侧。