[发明专利]晶圆盒

权利要求书

1.一种晶圆盒，包括一对端板和多根轻量支承杆，一对端板设置既定间隔，相向配置，多根轻量支承杆两端固定于上述端板，相互平行配置，用于支承晶圆的侧面及底面，其特征在于，上述轻量支承杆包括：至少在一处以上形成了加强槽的非金属材质的心材、压入上述加强槽的加强构件、嵌件注塑包裹住上述心材表面的非金属材质的表材；在上述心材的两端，结合着在外周面形成有螺纹的无头螺杆，在上述端板的与上述无头螺杆对应的部位，使与上述无头螺杆连结的连结螺母埋入端板厚度内进行设置。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：

上述加强槽配置于心材的长度方向中心部。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆盒，其特征在于：

上述加强槽沿与上述心材长度方向垂直的方向配置于心材两侧。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：

上述心材及加强构件为碳纤维增强塑料(Carbonfiber Reinforced plastics)。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：

在上述心材的两端，形成外径比其他部位小的小径部，在上述无头螺杆上形成供上述小径部插入的插入槽，上述无头螺杆的一部分埋入设置于上述表材内。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：

在上述表材的两侧端面上形成防止旋转凸起，在上述端板的与防止旋转凸起对应的部位，形成供上述防止旋转凸起插入的防止旋转槽。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于：

在上述端板的上部一侧，能旋转地设置用于防止上述晶圆脱离的锁销。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒，其特征在于：

上述锁销包括能旋转地贯通设置于上述各端板上部一侧的旋转轴、连接于上述旋转轴的连接杆、沿晶圆盒长度方向连接于上述连接杆末端的销杆，在上述端板的上端，形成在上述销杆锁定时用于固定销杆的第1固定槽，在端板的一侧端，形成在上述销杆解除锁定时用于固定销杆的第2固定槽。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒，其特征在于：

在上述第1固定槽的内面上，形成至少一个以上的用于防止插入第1固定槽的销杆脱离的固定凸起。