[发明专利]用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统及回收方法

权利要求书

1.一种用于处理酸性蚀刻废物体系的回收系统，所述酸性蚀刻废物体系来自用于太阳能电池硅片制绒或蚀刻的蚀刻槽，包括由氢氟酸、硝酸、氟硅酸、硅屑和水组成的蚀刻废液，其特征在于，所述回收系统包括：

用于分离来自所述蚀刻槽的蚀刻废液中的硅屑的第一分离装置；

与所述第一分离装置流体相通的第一蒸发器；

与所述第一蒸发器流体相通的第二蒸发器；

与所述第二蒸发器流体相通的第三蒸发器；

分别与所述第三蒸发器和第二蒸发装置流体相通的电解装置；和

分别与所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器流体相通的冷凝装置。

2.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括：

用于收集来自所述蚀刻槽中的气体的气体收集装置；

与所述气体收集装置流体相通的催化氧化器，所述催化氧化器上设置有通风口；和

置于所述催化氧化器和电解装置之间的第一注射器。

3.根据权利要求1或2所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括：

与所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器流体相通的第二分离装置，以进一步分离来自所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器的液体中的悬浮固体；和

与所述第二分离装置流体相通的洗涤器和接收来自所述第二分离装置的固体的固体收集装置；

其中，所述洗涤器还与所述第三蒸发器和冷凝装置流体相通。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括：

置于所述蚀刻槽与第一分离装置之间的第一缓冲槽，以收集来自所述蚀刻槽的蚀刻废液并将其输送至所述第一分离装置。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述回收体系还包括：

与所述冷凝装置流体相通的第二缓冲槽以储存已冷凝的液体并将其输送至所述蚀刻槽。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括第一热交换装置，使得将进入所述第一蒸发器的蚀刻废液和来自所述第一蒸发器、第二蒸发器和所述洗涤器的蒸气在所述第一热交换装置内进行热交换。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括第二热交换装置，使得将进入所述冷凝装置的蒸气在所述第二热交换装置内进行热交换。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述冷凝装置包括冷凝槽和置于所述冷凝槽上方的注射器，所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器通过所述注射器与所述冷凝装置流体相通，所述蚀刻槽通过所述冷凝槽与所述冷凝装置流体相通。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述冷凝装置包括第一冷凝槽、第二冷凝槽和第三冷凝槽以及分别置于所述第一冷凝槽、第二冷凝槽和第三冷凝槽上方的第二注射器、第三注射器和第四注射器，所述第一蒸发器和第三蒸发器通过所述第三注射器与所述冷凝装置流体相通，所述第二蒸发器通过所述第二注射器与所述冷凝装置流体相通，所述第一冷凝槽分别与所述第三注射器和第二冷凝槽流体相通，所述第二冷凝槽分别与所述第四注射器和第三冷凝槽流体相通，所述蚀刻槽通过所述第三冷凝槽与所述冷凝装置流体相通。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述电解装置包括电解槽和与所述电解槽流体相通的循环槽，所述电解槽由被阴离子膜分隔的阳极室和阴极室组成，所述电解装置通过所述循环槽与所述第二蒸发器和第三蒸发器流体相通。

11.根据权利要求3所述的回收系统，其特征在于，所述第一分离装置是过滤装置，或者所述第二分离装置是离心机。

12.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述第一蒸发器、第二蒸发器和第三蒸发器中至少一个内具有倾斜的加热片。

13.根据权利要求3所述的回收系统，其特征在于，所述第一蒸发器、第二蒸发器、第三蒸发器和洗涤器都配备有收集池，所述第二分离装置与各收集池流体相通。