[发明专利]一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质及其应用系统无效
| 申请号： | 201210026159.1 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102543630A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J17/20 | 分类号： | H01J17/20;H01J17/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 韩末洙 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 放电 等离子体 紫外 光刻 光源 介质 及其 应用 系统 | ||
1.一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质，其特征在于用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质是Xe气、He气和Ar气的混合气，所述Xe气、He气和Ar气的体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)。
2.根据权利要求1所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质，其特征在于Xe气、He气和Ar气的体积流量比为(0.5～1)∶(2～10)∶(2～10)。
3.如权利要求1所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统由Xe气瓶(1)、He气瓶(2)、Ar气瓶(3)、Xe气气体流量计(4)、He气气体流量计(5)、Ar气气体流量计(6)、毛细管(7)、电极(8)和高压脉冲电源(9)组成，其中Xe气瓶(1)通过Xe气气体流量计(4)与毛细管(7)相连，He气瓶(2)通过He气气体流量计(5)与毛细管(7)相连，Ar气瓶(3)通过Ar气气体流量计(6)与毛细管(7)相连，两个电极(8)分别位于毛细管(7)的两端，高压脉冲电源(9)通过电极(8)与毛细管(7)相联。
4.根据权利要求3所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于通过Xe气气体流量计(4)、He气气体流量计(5)和Ar气气体流量计(6)的气体的体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)。
5.根据权利要求3所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于通过Xe气气体流量计(4)、He气气体流量计(5)和Ar气气体流量计(6)的气体的体积流量分别为：Xe气0.2sccm～2sccm，He气：1sccm～20sccm，Ar气：1sccm～20sccm。
6.根据权利要求3所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于通过Xe气气体流量计(4)、He气气体流量计(5)和Ar气气体流量计(6)的气体的体积流量分别为：Xe气：0.5sccm～1sccm，He气：2sccm～10sccm，Ar气：2sccm～10sccm。
7.根据权利要求3所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于所述毛细管(7)的材质为三氧化二铝，毛细管(7)的内径为2mm～10mm，长度为5mm～12mm。
8.根据权利要求3至7中任意一项权利要求所述的一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质的应用系统，其特征在于所述高压脉冲电源(9)的输出电压为20kV～40kV。
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