[发明专利]电镀用阳极组件和电镀装置有效
| 申请号： | 201210027561.1 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN102560611A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 丁万春 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀 阳极 组件 装置 | ||
1.一种电镀用阳极组件，其特征在于，包括：
阳极面板；
多个支撑线，所述支撑线的第一端固定在阳极面板的边缘区域；
支撑杆，一端固定在阳极面板的中间区域，所述支撑杆上设置有滑动装置和止位装置，所述支撑线的第二端固定在所述滑动装置上；
所述支撑线的第二端随滑动装置一起移动，且当所述滑动装置通过止位装置进行固定后，所述支撑线使所述阳极面板处于弯曲状态。
2.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述支撑线通过绑缚、焊接、卡槽或悬挂方式固定在阳极面板的边缘区域。
3.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述支撑杆的一端通过螺钉螺栓、焊接或卡槽方式固定在阳极面板的中间区域。
4.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述支撑线通过绑缚、焊接、卡槽或悬挂方式固定在所述滑动装置上。
5.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述阳极面板设置多个孔洞。
6.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，还包括：挡板，设置在所述阳极面板的边缘区域。
7.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述阳极面板为多层同心圆结构，且每层接收不同的正极电压。
8.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述阳极面板为圆板形，所述多个支撑线均匀地固定在所述阳极面板的边缘。
9.如权利要求1所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述支撑杆上设置有多个滑动装置。
10.如权利要求9所述的电镀用阳极组件，其特征在于，至少部分所述支撑线的第二端固定在不同的滑动装置上。
11.如权利要求1或9所述的电镀用阳极组件，其特征在于，所述支撑线的第二端固定在同一个滑动装置上。
12.一种电镀装置，其特征在于，包括如权利要求1至11中任一项所述的电镀用阳极组件。
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