[发明专利]压电振动片的制造方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表

权利要求书

1.一种压电振动片的制造方法，用于使用光刻技术在形成有压电振动片的外形的压电板的表面形成电极，其特征在于，

所述压电振动片具备：

并排配置的一对振动臂部；

基部，连接有所述一对振动臂部；

叉部，在所述振动臂部和所述基部的连接部形成；以及

第1电极及第2电极，至少分别形成于夹着所述叉部而对置的所述一对振动臂部的侧面，

形成所述各电极的电极形成工序具有：

金属膜成膜工序，在所述压电板的表面进行金属膜成膜；

掩模材涂敷工序，与所述金属膜重叠地涂敷掩模材；

曝光工序，对所述掩模材进行曝光；

显影工序，将所述掩模材浸渍在显影液而选择性地除去，形成用于形成所述各电极的掩模图案；以及

蚀刻工序，隔着所述掩模图案进行所述金属膜的蚀刻，形成所述各电极，

在所述曝光工序与所述显影工序之间，具有将涂敷有所述掩模材的所述压电板浸渍在可溶于所述显影液且比所述显影液粘度低第1液体的浸渍工序。

2.如权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于，

所述显影液是氢氧化钠水溶液，所述第1液体是纯水。

3.一种压电振动片，其特征在于，

通过权利要求1或2所述的制造方法来制造。

4.一种压电振动器，其特征在于，

具备权利要求3所述的压电振动片。

5.一种振荡器，其特征在于，

权利要求4所述的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

6.一种电子设备，其特征在于，

权利要求4所述的压电振动器与计时部电连接。

7.一种电波钟表，其特征在于，

权利要求4所述的压电振动器与滤波器部电连接。