[发明专利]压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。

背景技术

在便携电话、便携信息终端设备中，利用石英(水晶)等的压电振动器用作时刻源、控制信号的定时源、参考信号源等。提供了各式各样的这种压电振动器，而作为其中之一，为人所知的是具有所谓的音叉型压电振动片的压电振动器。

近年来，随着搭载的设备的小型化，希望压电振动片进一步小型化。作为将压电振动器的CI值(Crystal Impedance：晶体阻抗)抑制得较低，且谋求压电振动片的小型化的方法，已知在压电振动片的振动臂部的两主面形成槽部的方法(例如，参照专利文献1)。

图14是现有技术的说明图，是沿着专利文献1的与振动臂部203的长度方向垂直的面的截面图。如图14所示，第1激振电极210主要在槽部205的内部形成，第2激振电极211主要在振动臂部203的侧面形成，振动臂部203为截面大致H字形状。

已知形成有槽部205的压电振动片的CI值一般依赖于振动臂部203的侧面203a和槽部侧面205a的宽度D。具体而言，通过使宽度D狭窄而能够将CI值抑制得较低。

另外，关于压电振动片的高性能化，重要的是抑制振动泄漏以及确保良好的驱动电平(drive level)特性。

这里，振动泄漏是指，当使压电振动片工作时，压电振动片的振动向外部泄漏的、振动能量的泄漏。该振动泄漏与压电振动片的效率变差相关，所以需要尽可能地抑制振动泄漏。

另外，驱动电平特性是指，相对于驱动电压的变动的压电振动片的振动频率的变动特性。振动频率的变动Δf越小，驱动电平特性越良好，可以说压电振动片是高性能的。

已知压电振动片的振动泄漏及驱动电平特性一般依赖于振动臂部203的刚性。另外，振动臂部203的刚性依赖于与振动臂部203的长度方向垂直的截面的面积S(以下，称为“振动臂部的截面积S”。)。因此，振动泄漏及驱动电平特性依赖于振动臂部203的截面积S。具体而言，通过扩大振动臂部203的截面积S而提高振动臂部203的刚性，能够抑制振动泄漏且确保良好的驱动电平特性。

专利文献1的压电振动片具备：基部，形成有基部电极部(相当于本申请的“装配电极”)；振动细棒(相当于本申请的“振动臂部”)，从该基部突出而形成；槽部，具有形成于该振动细棒的表面和/或背面的槽电极部(相当于本申请的“激振电极”)；以及连接电极部，连接基部电极部和槽电极部(相当于本申请的“引出电极”)。槽部的基端侧的宽度形成得比其他部分窄，从而确保形成连接电极部的区域宽。在该专利文献1中，振动臂部203的基端侧的截面积S扩大，所以作为结果振动臂部的基端侧的刚性提高。

专利文献1：日本特开2002-76827号公报

然而，在专利文献1中，仅提高了振动臂部的基端侧的刚性，所以未充分确保振动臂部203整体的刚性，存在不能够抑制振动泄漏，不能够确保良好的驱动电平特性的担忧。另外，在基端侧，振动臂部的侧面和槽部侧面的宽度D(参照图14)扩大，所以存在CI值变高的担忧。

发明内容

因此，本发明的课题在于，提供能够抑制振动泄漏、且确保良好的驱动电平特性，并且将CI值抑制得较低的压电振动片、使用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。

为了解决上述课题，本发明的压电振动片具备：并排地配置的一对振动臂部；在所述振动臂部的两主面上形成、沿着所述振动臂部的长度方向延伸的槽部；以及连接有所述一对振动臂部的基部，其特征在于，在所述振动臂部的宽度方向并排地在所述各振动臂部分别形成多个所述槽部。

依据本发明，通过在振动臂部的宽度方向并排形成多条槽部，而在各槽部之间形成壁，所以在形成有槽部的区域整体能够扩大振动臂部的截面积。由此，与专利文献1那样使1条槽部的基端侧的宽度狭窄的情况相比，在形成有槽部的区域整体能够提高振动臂部的刚性，所以能够抑制振动泄漏、确保良好的驱动电平特性。另外，即使不像专利文献1那样使槽部的基端侧的宽度狭窄，振动臂部的刚性也变高，因此在形成有槽部的区域整体能够使振动臂部的侧面和槽部侧面的宽度狭窄，能够将CI值抑制得较低。

另外，在每1个所述振动臂部形成3个形成所述槽部，在所述3条槽部之中，在所述宽度方向的中央配置的中央槽部中的所述振动臂部的基端侧的中央槽基端部，在所述基部和所述振动臂部的连接部附近配置；在所述3条槽部之中，在所述中央槽部的所述宽度方向的两侧配置的侧槽部的所述基端侧的侧槽基端部，也可相对所述中央槽基端部在更靠近所述振动臂部的前端侧配置。