[发明专利]用于可移动兆声晶圆喷头的装置和方法

权利要求书

1.一种方法，包括：

将可移动喷头置于晶圆表面上方，所述可移动喷头具有暴露所述晶圆表面的一部分的开放底部；

通过所述可移动喷头的所述开放底部将液体施加在所述晶圆表面上方；以及

以预定的扫描速度移动所述可移动喷头从而穿过所述晶圆表面，在所述晶圆表面上方移动的同时将所述液体施加在所述晶圆表面上。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

将换能器设置在所述可移动喷头内；以及

在所述晶圆表面上方移动所述可移动喷头的同时，将声能施加给所述晶圆表面位于所述可移动喷头的所述底部下方的部分。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述可移动喷头具有中间部分，用于将所述液体施给所述晶圆表面，所述液体沿所述晶圆表面流动，以及通过所述可移动喷头的外部的排出端口从所述晶圆表面不断去除所述液体。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，施加所述液体进一步包括：施加去离子水。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，施加所述液体进一步包括：施加选自基本上由去离子水、氢氧化氨-过氧化氢、溶解气、溶剂、以及表面活性剂所组成的组中的一个。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，移动所述可移动喷头进一步包括：在线性方向上移动所述可移动喷头，同时所述晶圆围绕中心轴旋转。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，移动所述可移动喷头包括：在线性方向上移动所述晶圆，同时所述晶圆旋转并且所述可移动喷头保持静止。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，移动所述可移动喷头包括：在至少两个方向上移动所述可移动喷头，同时所述晶圆保持静止，从而扫描所述整个晶圆表面。

9.一种装置，包括：

可移动晶圆喷头，包括：

换能器，被设置在形成浸渍罩的主体内，所述主体具有围绕所述换能器的侧面并且具有被配置成置于晶圆表面上方的开放底部；

液体输入端口，用于接收要施加给位于开放底部处的所述晶圆表面的液体；以及

液体排出端，用于通过所述开放底部去除来自所述晶圆表面的液体。

10.一种方法，包括：

提供可移动喷头，所述可移动喷头具有：兆声换能器，具有中间开口；液体输入端口，与所述中间开口连接；开口底部，被配置成将液体施加给晶圆表面位于开放底部下方一部分；液体排出端口，被配置成去除来自所述晶圆表面的一部分的液体；所述可移动喷头具有传动机构，用于以预定的扫描速度沿所述晶圆表面移动所述可移动喷头；

将所述可移动喷头置于晶圆表面上方；

将在所述可移动喷头的所述液体输入端口处所接收到的液体施加在所述晶圆表面位于所述开放底部下方的部分上方，同时将兆声能施加给所述晶圆表面的所述部分；

利用所述可移动喷头的所述液体排出端口去除来自所述晶圆表面的所述部分的所述液体；以及

以预定的扫描速度移动所述可移动喷头，从而穿过所述晶圆表面，在所述晶圆表面上方移动的同时，将所述液体和所述兆声能施加给所述晶圆表面；

其中，通过施加给所述晶圆表面的所述兆声能来释放颗粒，所述颗粒通过所述可移动喷头的所述排出端口由所述液体从所述晶圆表面带走。