[发明专利]能够精确修正激光输出的高输出激光装置

权利要求书

1.一种激光装置，具有：

激光输出指令部(18)，其根据预定的程序或者操作者的输入生成激光输出指令；

激励能量指令部(20)，其根据上述激光输出指令生成向激光器电源(14)发送的激励能量指令；

激光功率监视器(12)，其测定通过上述激光器电源(14)输出的激励能量所得到的激光输出；和

输出修正部(24)，其为使通过上述激光功率监视器(12)测定的激光输出与在上述激光输出指令中包含的指令输出一致，决定用于修正上述指令输出的修正系数，

上述激光装置的特征在于，还具有：

预备激光输出部(18)，其以与用于决定修正系数的激光输出指令不同的、预先设定的单一或者多个激光输出指令条件以及持续时间进行预备激光输出；知

修正用激光输出部(18)，其在所述预备激光输出后，以用于决定修正系数的激光输出指令条件以及持续时间进行修正用激光输出，

上述输出修正部(24)根据上述预备激光输出以及上述修正用激光输出的测定结果决定修正系数。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

上述预备激光输出的激光输出，通过输出值不同的多个激光输出指令被输出，

上述输出值不同的多个激光输出指令包含以从输出值高的激光输出到输出值低的激光输出的顺序进行激光输出的指令。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

上述输出修正部(24)根据多个激光输出指令条件中的激光输出的测定结果进行激光输出指令的修正，而且仅在比预先决定的值低的激光输出指令条件时，上述输出修正部(24)修正上述指令输出，以使通过上述激光功率监视器(12)测定的激光输出与指令输出一致。

4.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

上述输出修正部(24)根据多个激光输出指令条件中的激光输出的测定结果进行激光输出指令的修正，而且根据其他激光输出指令条件下的输出测定结果计算最低的激光输出指令条件。

5.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

上述输出修正部(24)根据多个激光输出指令条件中的激光输出的测定结果进行激光输出指令的修正，而且根据其他激光输出指令条件以及预先存储的过去的输出修正中的测定结果计算最低的激光输出指令条件。