[发明专利]曝光方法、曝光装置及元件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，通过投影光学系统以能量束使物体曝光，其特征在于，具备：

移动体，能保持所述物体而在既定面内移动；

编码器系统，对与所述既定面平行配置的光栅部照射光束以测量所述移动体的位置信息；

测量装置，测量所述移动体的位置信息，与所述编码器系统相异；以及

控制装置，能在所述物体的曝光动作中，并用从所述编码器系统取得的位置信息与从所述测量装置取得的位置信息控制所述移动体的驱动。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述控制装置，能将用于所述移动体的驱动的位置信息从所述编码器系统与所述测量装置两方切换至所述编码器系统与所述测量装置的一方。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述控制装置，能将用于所述移动体的驱动的位置信息从所述编码器系统与所述测量装置的一方切换至另一方。

4.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述测量装置，对所述移动体照射光束以测量其位置信息。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述编码器系统通过复数个读头分别从与所述既定面交叉的方向对所述光栅部照射光束。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其特征在于，所述编码器系统中，通过所述移动体的移动，所述复数个读头中用于所述位置信息的测量的读头切换至其他读头。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其特征在于，所述编码器系统中，通过所述移动体的移动，所述复数个读头中与所述光栅部对向的读头数目会变化。

8.一种曝光装置，通过投影光学系统以能量束使物体曝光，其特征在于，具备：

移动体，能保持所述物体而在既定面内移动；

编码器系统，通过复数个读头分别从与所述既定面交叉的方向对与所述既定面平行配置的光栅部照射光束，以测量所述移动体的位置信息；以及

控制装置，根据所述编码器系统的测量信息控制所述移动体的驱动；

所述编码器系统中，通过所述移动体的移动，所述复数个读头中与所述光栅部对向的读头数目会变化，且所述复数个读头中用于所述位置信息的测量的读头切换至其他读头。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备标记检测系统，与所述投影光学系统分离配置，用以检测所述物体的标记；

在所述物体的曝光动作及标记检测动作中，所述编码器系统的测量信息用于所述移动体的驱动控制。

10.如权利要求9所述的曝光装置，其特征在于，在所述移动体从所述投影光学系统下方与所述标记检测系统的下方的一方往另一方的移动中，所述编码器系统的测量信息用于所述移动体的驱动控制。

11.如权利要求6至10中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述切换至少在所述物体的曝光动作中进行。

12.如权利要求5至11中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述编码器系统，通过所述复数个读头中与所述光栅部对向的三个或四个读头测量所述位置信息。

13.如权利要求5至12中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述光栅部分别包含形成光栅的四个标尺；

所述编码器系统，通过与所述四个标尺的至少三个分别对向的读头测量所述位置信息。

14.如权利要求1至13中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述编码器系统测量分别保持物体的包含所述移动体的复数个移动体的位置信息。

15.如权利要求1至14中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备与所述编码器系统不同的编码器系统，测量保持掩膜的移动体的位置信息，该掩膜具有待形成于所述物体的图案。

16.如权利要求1至14中任一项所述的曝光装置，其特征在于，所述控制装置，根据所述编码器系统的测量信息与和所述光栅部相关的修正信息控制所述移动体的驱动。

17.如权利要求16所述的曝光装置，其特征在于，所述修正信息，包含与形成于所述光栅部的光栅间距与变形的至少一方相关的信息。

18.如权利要求16或17所述的曝光装置，其特征在于，所述修正信息，包含与形成于所述光栅部的光栅的排列相关的信息。