[发明专利]光源单元的排风系统及光刻机无效
| 申请号： | 201210030413.5 | 申请日： | 2012-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN102540764A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 陈艳艳;王剑锋;王琳 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V29/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源 单元 系统 光刻 | ||
1.一种光源单元的排风系统，包括排风管，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，其特征在于，所述光源单元的排风系统还包括一鼓风机，所述鼓风机设置于所述排风管上。
2.根据权利要求1所述的光源单元的排风系统，其特征在于，所述鼓风机为低压鼓风机，压力范围是100pa～200pa。
3.根据权利要求1所述的光源单元的排风系统，其特征在于，所述光源单元的排风系统还包括一阀门，所述阀门设置于所述排风管上。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的光源单元的排风系统，其特征在于，所述鼓风机与所述光源单元的距离是0.5-2米。
5.一种光刻机，包括光源单元、光路传输系统、曝光系统与光源单元的排风系统，所述光源单元发出的光经所述光路传输系统传递到所述曝光系统，其特征在于，所述光源单元的排风系统包括排风管和鼓风机，所述排风管一端连接所述光源单元，另一端外接厂务排风单元，所述鼓风机设置于所述排风管上。
6.根据权利要求5所述的光刻机，其特征在于，所述光源单元采用汞灯单元。
7.根据权利要求5所述的光刻机，其特征在于，所述鼓风机为低压鼓风机，压力范围是100pa～200pa。
8.根据权利要求5所述的光刻机，其特征在于，所述光刻机为步进光刻机。
9.根据权利要求5所述的光刻机，其特征在于，所述光刻机还包括一阀门，所述阀门设置于所述排风管上。
10.根据权利要求5～9中任意一项所述的光刻机，其特征在于，所述鼓风机与光源单元的距离是0.5-2米。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海先进半导体制造股份有限公司，未经上海先进半导体制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210030413.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双滚筒联动数控绞车
- 下一篇：全自动纸碟餐盒成型机
