[发明专利]主动矩阵式影像感测面板及装置

说明书

技术领域

本发明是关于一种影像感测面板及装置，特别关于一种主动矩阵式影像感测面板及装置。

背景技术

传统X光成像技术利用成像胶片接收X光的曝光而成像，但近年来，由于半导体技术的发展，X光成像技术也进化到利用平板式的数字化影像感测面板来成像，即所谓的数字放射造影(digital radiography，DR)技术。

兹将数字放射造影技术的原理简述如下。当X光进入影像感测装置内时，会先经过一闪烁晶体层(scintillator)，并藉其将X光转变为可见光，再通过感光元件将所感测到的光转成电信号，之后电信号再从数据线被读出，再经过影像处理后则变成影像。其中，感光元件从原本的电荷耦合元件(charge coupled device，CCD)也进展到硅基的光电二极管。在目前技术中，也有不需闪烁晶体层，而是直接将X光转成电信号。

图1为一种用于X光的影像感测面板的像素布线俯视图，其显示其中一像素结构。该像素结构包括一数据线101、一扫描线102、一薄膜晶体管T以及一感光元件104。其中，扫描线102与薄膜晶体管T的栅极103电连接，感测元件104是通过一贯孔V11与薄膜晶体管T的漏极105电连接，数据线101是通过一贯孔V12与薄膜晶体管T的源极106电连接，感光元件104是通过一贯孔V13与一偏压线(bias line)107电连接。

当光线进入感光元件104时，光线激发感光元件104的半导体层的电子空穴对，并通过偏压线107施加一偏压给感光元件104，使得电子空穴对分离。载子形成感光信号并经由贯孔V11传送至薄膜晶体管T的漏极，并在扫描线102使能栅极103的状况下，经由贯孔V12由数据线101读出。各像素的感光信号一一被读出后，即可交由影像处理模块，以取得影像。

然而，在影像感测面板的制造过程中，常会因为环境中微小的粒子掉落在像素结构中，进而造成后续制程中的数据线断线，并且由于像素结构的叠层的设计因素，而无法进行断线的修补，进而降低产品的成品率。

因此，如何提供一种主动矩阵式影像感测面板及装置，能够改善断线的问题而提升产品成品率，实为当前重要课题之一。

发明内容

有鉴于上述课题，本发明的目的为提供一种能够改善断线的问题而提升产品成品率的主动矩阵式影像感测面板及装置。

为达上述目的，依据本发明的一种主动矩阵式影像感测面板包括一基板以及一影像感测像素。影像感测像素设置于基板上，并包括一数据线、一第一薄膜晶体管元件以及一第二薄膜晶体管元件。第一薄膜晶体管元件设置于基板并具有一第一电极、一第二电极与一第一栅极。第二电极通过一第一贯孔与数据线电连接。第二薄膜晶体管元件设置于基板并具有一第三电极、一第四电极与一第二栅极。第四电极通过一第二贯孔与数据线电连接。第二电极与第四电极连接并与数据线重叠设置。

在一实施例中，影像感测像素更包括第一感光元件与一波长调变层，波长调变层设置于第一感光元件的一侧。波长调变层可例如将X光转换成可见光。

在一实施例中，影像感测像素具有二个次像素，所述这些次像素相互为镜射。

在一实施例中，影像感测像素更包括一第一扫描线与一第二扫描线。第二电极于数据线与第一扫描线交接处不与数据线重叠、或第四电极于数据线与第二扫描线交接处不与数据线重叠。藉此可降低寄生电容。

在一实施例中，第一感光元件包括至少一P-N接面(结)。

在一实施例中，第一电极与第一感光元件的一底电极电连接。

为达上述目的，依据本发明的一种主动矩阵式影像感测装置包括如上所述的一主动矩阵式影像感测面板以及一处理模块。处理模块与主动矩阵式影像感测面板的数据线电连接。

承上所述，在本发明的主动矩阵式影像感测面板的一影像感测像素中，第一薄膜晶体管元件的第二电极通过一第一贯孔与数据线电连接，第二薄膜晶体管元件的第四电极是通过一第二贯孔与数据线电连接，且第二电极与第四电极连接并与数据线重叠设置。藉此，当数据线的某一点发生断线的状况时，数据线上的信号(例如感光信号)可经由第二电极与第四电极再传送至数据线的未断线部分，并由数据线读出。因此，本发明可在数据线断线时依然保持信号读出的完整性，进而提升产品成品率。

附图说明

图1为一种现有用于X光的影像感测面板的像素布线图；

图2为本发明较佳实施例的一种主动矩阵式影像感测面板的多个影像感测像素的布线示意图；

图3为图2的影像感测像素沿线段B-B的剖面示意图；