[发明专利]除电装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过由电晕放电生成的离子化空气将通过静电而带电的对象物除电的除电装置及方法。

背景技术

在进行半导体基板等电子部件的制造及组装时，如果使电子部件或用于对其进行处理的器件等带静电，则有时灰尘等异物附着于电子部件上，或因放电而将电子部件内的电路破坏。为防止该情况，目前正在使用通过对由静电带电的对象物吹附离子化空气而将对象物除电的称作“静电除电器”的除电装置(参照专利文献1～4)。

为生成离子化空气，通常利用直流或交流的电晕放电。通过电晕放电生成的离子化空气通常通过压缩空气或风扇朝向对象物吹附。

作为利用交流的电晕放电的除电装置，如专利文献3、4所示。这些文献中公开有如下的技术：防止由交流的电晕放电产生的离子的平衡失衡(disparity)，防止不能将被除电体(对象物)完全除电而带电为负或正的电位。例如，专利文献3的图4中表示了在交流电晕放电电极与接地的板电极上的被除电体之间设有格子状的栅电极的构成。栅电极经由二极管和电阻而接地。另外，专利文献4中公开有根据带电体(对象物)的带电电位而可变地控制与放电电极对置的接地电极和接地电位之间的电阻值。

专利文献1：JP特开2007-287368号公报

专利文献2：JP特开2006-196380号公报

专利文献3：JP特开昭52-30440号公报

专利文献4：JP特开平04-206378号公报

在直流型的电晕放电型除电装置中，输送离子量的调整通常通过对放电电极施加的施加电压进行。也就是说，对放电电极施加的施加电压越高则输送离子量越多。在此所述的“直流型”，不仅包含作为电源电压使用恒定的正或负的电压的情况，而且还包含使交流电压向正侧或负侧移动、即对交流电压赋予直流偏压，从而使正或负的一方的离子占优的情况。

在此，例如使对象物带正电。该情况下，对放电电极施加负的电压。在除电开始时，带正电的对象物和施加了负的电压的放电电极的电位差大，能够向对象物输送大量的离子。但是，如果将对象物进行某程度的除电而使其电位变低，则对象物的周围的电场弱，离子向对象物移动的力减弱。如果离子移动的力减弱，则除电耗费时间。

发明内容

本发明的目的在于，解决这种课题，提供能够缩短除电所需的时间的除电装置及方法。

根据本发明第一方面，提供一种除电装置，将带电的对象物的静电除去，其特征在于，具备：放电电极，其通过放电而生成与对象物相反极性的离子化空气，辅助电极，其具有使由放电电极生成的离子化空气通过的孔，以及电场形成机构，其在辅助电极和对象物之间的空间形成电场；在开始除电时，电场形成机构使辅助电极产生与对象物相反极性的电位而产生电场，在对象物的电位的绝对值成为规定的值以下时，使辅助电极的电位比除电开始时小而减小电场。

电场形成机构可以具有使辅助电极和接地电位之间的电阻值变化而使辅助电极的电位变化的电阻值可变机构。电阻值可变机构具有：电阻器和开关，在除电开始时，该开关经由电阻器而将辅助电极与接地电极连接，在除电结束时，该开关不经由电阻器而将辅助电极与接地电位连接。

作为辅助电极，可以使用至少一部分形成为网状的电极。

可以具备测定对象物的电位的电位传感器，并利用该电位传感器检测对象物的电位成为规定的值的时刻。另外，在由放电电极生成的离子化空气所产生的对象物的电位的时间变化特性已知的情况下，也可以通过除电开始后的时间来判定对象物的电位成为规定的值的时刻。

根据本发明第二方面，提供一种除电方法，由来自放电电极的放电生成与所带电的对象物相反极性的离子化空气，使用所生成的离子化空气从对象物除去静电，其特征在于，在放电电极和对象物之间配置具有使离子化空气通过的孔的辅助电极，在开始除电时，使辅助电极产生与对象物相反极性的电位而产生电场，在对象物的电位的绝对值成为规定的值以下时，使辅助电极的电位比除电开始时小而减小电场。

根据本发明，在直流型的电晕放电型除电装置及方法中，能够缩短除电所需的时间。

附图说明

图1是说明本发明的实施方式的除电装置的构成例的图；

图2是表示辅助电极的构成例的图；

图3是表示除电装置的除电性能的例子的图；

图4是表示测定除电装置的除电性能的评价装置的构成例的图；

图5是说明用于缩短除电时间的原理的图；

图6是说明辅助电极的极性为与对象物相反极性的理由的图；