[发明专利]太阳能电池刻蚀废物体系的处理方法及处理装置

权利要求书

1.一种太阳能电池刻蚀废物体系的处理方法，所述废物体系中主要包含HF、HCl、H₂SiF₆和水，其特征在于，所述处理方法包括如下步骤：

A) 使废物体系中的可挥发性气体挥发，以得到挥发的废气和残余废液；

B) 加热残余废液，使得其中发生如下反应：

H₂SiF₆→SiF₄+2HF

SiF₄+3H₂O→H₂SiO₃+4HF

并蒸发所有挥发性气体以得到蒸发的废气；

C) 将来自步骤A)的挥发的废气和来自步骤B)的蒸发的废气混合并冷凝得到冷凝液；和

D) 将步骤C)得到的冷凝液与水混合。

2.权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述步骤A)中的挥发在抽真空条件下进行。

3.权利要求1或2所述的处理方法，其特征在于，所述步骤B)的反应在抽真空条件下进行，其加热温度为40-80℃。

4.一种太阳能电池刻蚀废物体系的处理装置，所述废物体系来自太阳能电池加工系统中的刻蚀设备，其特征在于，所述处理装置包括：

与所述刻蚀设备流体相通的、用于加热液体和使气体蒸发的蒸发设备；

与所述蒸发设备和所述刻蚀设备流体相通的、用于气体的混合的注射设备；和

与所述注射设备和所述刻蚀设备流体相通的、用于气体的冷凝以及混合酸的制备的冷凝设备。

5.权利要求4所述的处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括：与所述冷凝设备相连的浓度在线检测系统。

6.根据权利要求5所述的处理装置，其特征在于，所述浓度在线检测系统包括：与所述冷凝设备流体相通、用于在线采集液体的光谱数据的近红外光栅仪和与所述近红外光栅仪相连、用于对所述光谱数据进行分析以得出所述液体的浓度数据的浓度测试装置。

7.根据权利要求6所述的处理装置，其特征在于，所述近红外光栅仪中设置具有自动内部校准功能的分光光度计。

8.权利要求4所述的处理装置，其特征在于，所述冷凝设备上还设置有一取样口，以便于其中液体的取样及各组分浓度测试。

9.权利要求4-8中任一项所述的处理装置，其特征在于，所述注射设备与一真空泵相通以促进气体转移到注射设备中。

10.权利要求4-8中任一项所述的处理装置，其特征在于，所述冷凝设备与一真空泵相通以促进气体转移到所述冷凝设备中。

11.权利要求4-8中任一项所述的处理装置，其特征在于，所述蒸发设备与一真空泵相通以降低蒸发所需的温度。