[发明专利]用于检测离子源污染的分析器有效
| 申请号： | 201210033028.6 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN103247508A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 许飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 检测 离子源 污染 分析器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于检测离子源污染的分析器，包括离子筛选管，其特征在于：还包括控制器，所述离子筛选管的侧壁上设有若干相互隔离且并排的石墨条，所述控制器与各石墨条相连接，所述各石墨条接收单种杂质离子，所述控制器时时监测各石墨条上的杂质离子用于检测离子源污染。
2.根据权利要求1所述的用于检测离子源污染的分析器，其特征在于：所述控制器包括与各石墨条一一对应设置的电流检测装置，所述电流检测装置用于检测各石墨条上单种杂质离子的电流大小。
3.根据权利要求2所述的用于检测离子源污染的分析器，其特征在于：所述电流检测装置包括运算放大器和电流表，所述运算放大器一端连接石墨条，另一端连接电流表。
4.根据权利要求1所述的用于检测离子源污染的分析器，其特征在于：所述石墨条通过绝缘的固定槽安装在离子筛选管的侧壁上。
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