[发明专利]金属有机化合物化学气相沉积加热器无效
| 申请号： | 201210035493.3 | 申请日： | 2012-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103255390A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 都业志;李玉花 | 申请（专利权）人： | 苏州艾默特材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/46;C23C16/448 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 有机化合物 化学 沉积 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：包括支座(4)，所述支座(4)上设有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)上设置有若干支架(2)，所述支架(2)上连接有加热体(1)。
2.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)由若干根加热丝(101)并排组成。
3.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成螺旋线或渐开线状。
4.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成三相加热所需的形状。
5.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热体(1)弯曲成单相加热所需的形状。
6.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)截面为矩形，每边长度为1-3mm。
7.根据权利要求1所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述支座(4)为难熔金属。
8.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)材质为钨。
9.根据权利要求2所述的金属有机化合物化学气相沉积加热器，其特征在于：所述加热丝(101)材质为钨铼合金。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
