[发明专利]曝光装置、移动体驱动系统、图案形成装置、以及曝光方法

权利要求书

1.一种移动体驱动系统，实质沿既定平面驱动移动体，其具备：

编码器系统，具有读头，此读头对具有在与上述既定平面平行的面内以彼此正交的第1、第2方向为周期方向的2维光栅的标尺照射检测光，并接收来自上述标尺的光，此编码器系统根据上述读头的测量值，测量在包含上述第1、第2方向的上述既定平面内的至少2自由度方向的上述移动体的位置信息；以及

驱动装置，根据上述编码器系统的测量信息，驱动上述移动体。

2.如权利要求1所述的移动体驱动系统，其中，上述标尺与上述读头的一方被配置于上述移动体，且另一方被配置成能与上述移动体对向。

3.如权利要求2所述的移动体驱动系统，其中，上述标尺配置在与上述既定平面实质平行的上述移动体的一面，上述读头以能与上述标尺对向地配置在上述移动体的外部。

4.如权利要求3所述的移动体驱动系统，其中，上述标尺以上述第1方向为长边方向配置在上述移动体的上述一面；

上述编码器系统具有读头单元，此读头单元包含配置在于上述第2方向检测点不同的位置的多个上述读头；

上述多个读头，包含于上述第2方向、以比上述标尺宽度窄的间隔设定有上述检测点的读头。

5.如权利要求4所述的移动体驱动系统，其中，上述标尺在上述移动体的上述一面、于上述第2方向分离配置有一对；

上述编码器系统根据同时对向于上述一对标尺的上述读头单元的2个读头的输出，测量上述移动体在上述既定平面内的3自由度方向的位置信息。

6.如权利要求5所述的移动体驱动系统，其中，上述编码器系统具有在上述第2方向分离配置、且能与上述一对标尺分别对向至少1个读头的一对上述读头单元。

7.如权利要求2所述的移动体驱动系统，其中，上述读头被配置于上述移动体，上述标尺被配置成能与上述移动体对向。

8.如权利要求7所述的移动体驱动系统，其中，上述读头于上述第1方向被配置在上述移动体的不同位置，上述标尺被配置成以上述第2方向为长边方向。

9.如权利要求8所述的移动体驱动系统，其中，上述读头于上述第2方向在上述移动体两侧、分别配置在于上述第1方向的不同位置。

10.如权利要求1至9中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置根据上述编码器系统的测量信息、以及对应该测量时上述移动体在与上述第1、第2方向不同方向的位置信息的修正信息，沿上述既定平面驱动上述移动体。

11.如权利要求10所述的移动体驱动系统，其中，上述移动体在与上述第1、第2方向不同方向的位置信息，包含上述移动体在与上述既定平面正交的方向、在与上述既定平面平行的面内的旋转方向、绕与上述第1方向平行的轴的旋转方向、以及绕与上述第2方向平行的轴的旋转方向中的至少一方向的位置信息。

12.如权利要求1至11中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置根据为上述编码器系统的测量误差发生原因的、用于测量的上述读头的特性信息，来驱动上述移动体。

13.如权利要求12所述的移动体驱动系统，其中，上述特性信息包含上述读头的光学特性。

14.如权利要求1至13中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置以补偿因用于测量的上述读头而产生的上述编码器系统的测量误差的方式，在上述既定平面内驱动上述移动体。

15.如权利要求1至14中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置进一步根据关于上述标尺平面度的信息，驱动上述移动体。

16.如权利要求1至15中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置进一步根据用于测量的上述读头的检测点的位置信息，驱动上述移动体。

17.如权利要求16所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置以补偿因上述检测点的位置或位移而产生的上述编码器系统的测量误差的方式，驱动上述移动体。

18.如权利要求1至17中任一项所述的移动体驱动系统，其中，上述驱动装置进一步根据作为上述移动体在与上述既定平面正交的第3方向的位置基准的基准面、以及上述标尺的光栅面在上述第3方向的位置信息，驱动上述移动体。