[发明专利]压印光刻

权利要求书

1.一种压印设备，包括多个压印模板支架，配置成彼此平行地操作。

2.一种压印方法，包括步骤：

提供一定量可压印媒介至第一目标区域；

将可压印媒介的第一目标区域与第一压印模板接触以在第一目标区域形成第一压印；

提供一定量可压印媒介至第二目标区域，所述第二目标区域与第一目标区域间隔开；

将可压印媒介的第二目标区域与第二压印模板接触以在第二目标区域形成第二压印，所述第二压印模板相对于第一压印模板是可移动的；和

将第一和第二压印模板与相应的目标区域分离。

3.一种压印设备，包括：

衬底台，配置成保持衬底；和

第一压印模板支架，配置成支撑第一压印模板，所述第一压印模板支架配置成位移第一压印模板以接触衬底上的可压印媒介的第一目标区域以在第一目标区域处形成压印；

第二压印模板支架，配置成支撑第二压印模板，所述第二压印模板支架配置成位移第二压印模板以接触衬底上的可压印媒介的第二目标区域以在第二目标区域处形成压印，第一压印模板支架配置成相对于第二压印模板位移第一压印模板并且第二目标区域与第一目标区域间隔开；和

分配器，配置成提供可压印媒介至相应的第一和第二目标区域。

4.一种压印设备，包括：

衬底台，配置成保持衬底；和

第一压印模板支架，配置成支撑第一压印模板，所述第一压印模板支架配置成引起第一压印模板接触衬底上的可压印媒介的第一组目标区域的每个目标区域以在第一组目标区域处形成第一组压印；

第二压印模板支架，配置成支撑第二压印模板，所述第二压印模板支架配置成引起第二压印模板接触可压印媒介的第二组目标区域的每个目标区域以在第二组目标区域处形成第二组压印，第二组目标区域与第一组目标区域间隔开；和

分配器，配置成在衬底支撑在衬底台上的同时在衬底上提供可压印媒介，在此期间第一和第二压印模板支架引起相应的第一和第二压印模板接触相应的第一和第二组目标区域。

5.一种压印方法，包括步骤：

将衬底上的可压印媒介的第一组目标区域的每个目标区域与第一压印模板接触以在第一组目标区域处形成第一组相应的压印；

将可压印媒介的第二组目标区域的每个目标区域与第二压印模板接触以在第二组目标区域处形成第二组相应的压印，所述第二组目标区域与所述第一组目标区域间隔开；和

在第一和第二压印模板接触相应的第一和第二组目标区域的期间在衬底上提供可压印媒介。

6.一种压印设备，包括：

衬底台，配置成保持衬底；和

第一压印模板支架，配置成支撑第一压印模板，所述第一压印模板支架配置成位移第一压印模板以接触衬底上的可压印媒介的第一目标区域以在第一目标区域处形成压印并且引起第一压印模板与第一目标区域分离；

第二压印模板支架，配置成支撑第二压印模板，所述第二压印模板支架配置成位移第二压印模板以接触可压印媒介的第二目标区域以在第二目标区域处形成压印并且引起第二压印模板与第二目标区域分离，所述第一压印模板支架配置成相对于第二压印模板位移第一压印模板和第二目标区域与第一目标区域间隔开；

与第一压印模板支架相关的第一分配器，第一分配器配置成提供可压印媒介至第一目标区域；和

与第二压印模板支架相关的第二分配器，第二分配器配置成提供可压印媒介至第二目标区域。

7.一种压印设备，包括：

衬底台，配置成保持衬底；和

第一压印模板支架，配置成支撑第一压印模板，所述第一压印模板支架配置成位移第一压印模板以接触衬底上的可压印媒介的第一目标区域以在第一目标区域处形成压印并且引起第一压印模板与第一目标区域分离；

第二压印模板支架，配置成支撑第二压印模板，所述第二压印模板支架配置成位移第二压印模板以接触可压印媒介的第二目标区域以在第二目标区域处形成压印并且引起第二压印模板与第二目标区域分离，所述第一压印模板支架配置成相对于第二压印模板位移第一压印模板和第二目标区域与第一目标区域间隔开；和

分配器，配置成从多个压印模板的至少两个不同侧提供可压印媒介。