[发明专利]物理量传感器及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器以及使用了该物理量传感器的电子设备。

背景技术

近年来，在汽车导航系统和摄像机的手抖校正等的姿势控制中，大多使用检测角速度的角速度传感器。在这种角速度传感器中，存在检测形成有元件的面内的绕轴的角速度的方式的角速度传感器。

专利文献1公开的角速度传感器由以下部件构成：在XY平面内呈圆环状的驱动质量；配置在其中心的支架；固定有支架的基板；在所述驱动质量的X轴方向上相对配置的一对第1质量部；在所述驱动质量的Y轴方向上相对配置的一对第2质量部；以及在所述基板上与所述第1质量部以及第2质量部相对配置的检测电极。

利用这种结构，对驱动质量进行使其绕与XY平面垂直的Z轴方向的支架轴交替重复的旋转驱动，在施加绕X轴或绕Y轴的角速度时，作用哥氏力，对杠杆状的第1质量部或第2质量部旋转所造成的角速度进行检测。

【专利文献1】美国专利申请公开第2009/0100930号说明书

但是，根据专利文献1公开的角速度传感器，由于旋转驱动产生离心力，尤其是在旋转方向变化时，存在杠杆状的检测电极振动的问题。当检测电极振动时会产生输出，因此存在即使在不施加角速度的情况下也产生输出的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于在提供一种物理量传感器以及电子设备，该物理量传感器的检测电极不会由于驱动而进行振动，在例如将传感器用作了角速度传感器时，不会受到作为输出值的角速度以外的物理量即直线加速度的影响、以及检测轴以外的其他轴的角速度的影响的至少一种影响。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下应用例来实现。

[应用例1]一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：基板；第1移位部和第2移位部，它们配置在所述基板上的空间平面内，并具有旋转轴；固定电极部，其设置在所述基板的分别与所述第1移位部以及第2移位部相对的位置处；支承部，其支承所述第1移位部和第2移位部各自的所述旋转轴；固定部，其经由弹簧部支承所述支承部；以及驱动部，其使所述支承部在振动方向上振动，所述第1移位部和第2移位部能够以所述旋转轴为轴相对于所述空间平面在垂直方向上移位，所述旋转轴分别被设置成偏离所述第1移位部或第2移位部的重心，所述第1移位部的所述旋转轴与所述第2移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反。

根据上述结构，例如在将物理量传感器用作角速度传感器的情况下，仅检测绕检测轴的角速度，不检测成为噪声的除检测轴以外的其他轴的角速度。因此，能够高精度地进行物理量检测。

[应用例2]根据应用例1所述的物理量传感器，其特征在于，所述旋转轴分别被配置成与所述支承部的所述振动方向平行。

根据上述结构，例如在将物理量传感器用作角速度传感器的情况下，在绕检测轴产生了角速度时各移位部容易相对于基板上的空间平面在垂直方向上移位，从而能够高精度地进行物理量检测。

[应用例3]根据应用例1或应用例2所述的物理量传感器，其特征在于，所述第1移位部和所述第2移位部配置成相互对称。

根据上述结构，各移位部的静电电容的绝对值相同，能够通过差动检测对移位进行检测。

[应用例4]一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：基板；以及第1振动体和第2振动体，它们配置在所述基板上的空间平面内，所述第1振动体具有：具备旋转轴的第1移位部和第2移位部；以及支承所述第1移位部和所述第2移位部的各个所述旋转轴的第1支承部，所述第2振动体具有：具备旋转轴的第3移位部和第4移位部；以及支承所述第3移位部和所述第4移位部的各个所述旋转轴的第2支承部，所述物理量传感器还具有：固定电极部，其设置在所述基板的分别与所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部相对的位置处；固定部，其经由弹簧部分别支承所述第1支承部和第2支承部；以及驱动部，其分别使所述第1支承部和第2支承部振动，所述第1振动体和所述第2振动体在彼此相反的方向上振动，所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部能够以所述旋转轴为轴相对于所述空间平面在垂直方向上移位，所述旋转轴分别被设置成偏离所述第1移位部、第2移位部、第3移位部、第4移位部的重心，所述第1移位部的所述旋转轴与所述第2移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反，并且，所述第3移位部的所述旋转轴与所述第4移位部的所述旋转轴从所述重心偏离的方向彼此相反。