[发明专利]着色感光性树脂组合物及其固化部件无效
申请号: | 201210038765.5 | 申请日: | 2006-03-28 |
公开(公告)号: | CN102768465A | 公开(公告)日: | 2012-11-07 |
发明(设计)人: | 宫部英和;宇敷滋 | 申请(专利权)人: | 太阳控股株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F1/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 着色 感光性 树脂 组合 及其 固化 部件 | ||
本申请是申请日为2006年3月28日、申请号为200610066190.2、发明名称为“着色感光性树脂组合物及其固化部件”的申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及可通过光蚀刻法形成图案的碱性显影型着色感光性树脂组合物及其固化部件,更具体地说,涉及在等离子显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)、液晶显示器(LCD)、荧光显示装置、图象传送装置、印刷电路板、混合集成电路等中的结构支撑体(称为间隔物、肋或间隔壁)、电极(导体电路)图案、电介质(电阻器)图案、黑色矩阵图案、阻焊剂等各种着色图案的形成中适用的着色感光性树脂组合物及其固化部件。
背景技术
迄今为止,作为着色感光性树脂组合物的图案的形成方法,一般使用将着色感光性树脂组合物涂布在基板的整个面上,干燥后,通过部分选择性地照射紫外线等活性能量射线而使其固化,通过显影仅除去未固化的部分来进行图案形成的光蚀刻法,并且为了形成各种着色图案而使用添加有各种颜料的着色感光性树脂组合物(参阅例如专利文献1等)。
光蚀刻法由于其操作性优良,因而适合大量生产,因此被广泛用于印刷工业界和电子工业领域。但是,使用添加了颜料的感光性树脂组合物通过光蚀刻法形成图案的情况下,颜料妨碍紫外线的透过或吸收紫外线,因而曝光显著不足,在曝光时存在不能得到充分的表面固化性或固化深度的倾向。其结果是,在显影工序中,容易产生底切。
此外,通过光蚀刻法形成厚膜的着色图案时,如果为了体现深部固化性而增加紫外线照射的曝光量,随之而来的是晕影增大,即,相对于图案剖面的表面部分(上部)的线宽,中间部分(中心部分)和最深部(底部)的线宽增大,存在分辨率降低的问题。因此,现实的情况是,尚没有一种在例如20μm或其以上的膜厚下,能够形成曝光时可以得到充分的表面固化性和固化深度、且分辨率优良的厚膜着色图案的着色感光性树脂组合物。
[专利文献1]日本特开平9-160243号公报(权利要求书)
发明内容
本发明是鉴于上述现有技术的问题而进行的,其目的在于解决通过光蚀刻法形成厚膜的着色图案的情况下的上述问题,并提供一种在曝光时得到充分的表面固化性和固化深度、且能够形成分辨率优良的着色图案的碱性显影型的着色感光性树脂组合物及其固化部件。
为了实现上述目的,根据本发明,提供了一种碱性显影型的着色感光性树脂组合物,包含(A)感光性预聚物、(B)光聚合引发剂、和(C)颜料作为必要成分,其特征在于:上述光聚合引发剂(B)包含(B-1)氧化膦类和(B-2)脱氢型光聚合引发剂各至少1种、且(B-2)对(B-1)的比率为5~40质量%的比例。
具体来说,提供了一种碱性显影型的着色感光性树脂组合物,其特征在于:包含(A)感光性预聚物、(B)每100质量份上述感光性预聚物为1~30质量份的光聚合引发剂、和(C)占组合物总体积的0.1~7体积%的颜料,其中,上述光聚合引发剂(B)包含(B-1)氧化膦类和(B-2)脱氢型光聚合引发剂各至少1种、且(B-2)对(B-1)的比率为5~40质量%的比例。
此外,作为更优选的形态,提供了一种着色感光性树脂组合物,其特征在于:作为上述氧化膦类(B-1),使用2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦和/或双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦,作为上述脱氢型光聚合引发剂(B-2),使用4-苯甲酰基-4′-甲基二苯基硫化物。
作为更优选的形态,本发明还提供一种碱性显影型的紫外线固化型着色感光性树脂组合物,其包含(A-1)具有羧基的感光性预聚物、(B)光聚合引发剂、和(C)颜料作为必要成分,其特征在于,上述光聚合引发剂(B)包含至少1种(B-1)氧化膦类和(B-2)4-苯甲酰基-4′-甲基二苯基硫化物、且(B-2)对(B-1)的比率为5~40质量%的比例,所述的氧化膦类(B-1)使用2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦和/或双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦,所述的(A-1)具有羧基的感光性预聚物的酸价为50~150mgKOH/g。
进而,根据本发明,提供了使用上述着色感光性树脂组合物形成图案而成的固化部件。
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