[发明专利]一种亚波长表面等离子激元光波导

权利要求书

1.一种具备强模场约束能力及低模式损耗的表面等离子激元光波导，其横截面包括金属基底层、位于金属基底层上的介质层及位于介质层上的金属包层；金属基底层在与介质层相邻的区域呈“∨”字形或“一”字形，金属包层在与介质层相邻的区域呈“∨”字形；当金属基底层为“∨”字形时，金属基底层的顶角位于金属包层的顶角的正下方；金属基底层中心的外顶角大于0度且不大于180度，金属包层中心的内顶角大于0度且小于180度，金属基底层中心的外顶角大于金属包层中心的内顶角，金属基底层和金属包层的最小间距范围为所传输光信号的波长的0.006-0.1倍；金属基底层和金属包层的材料为相同材料或不同材料。

2.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于，所述结构中金属基底层和金属包层的材料为能产生表面等离子激元的金、银、铝、铜、钛、镍、铬中的任何一种、或是各自的合金、或是上述金属构成的复合材料。