[发明专利]原子力显微镜探针

权利要求书

1.一种原子力显微镜探针，其特征在于，包括至少一碳纳米管微尖结构，该碳纳米管微尖结构包括：

一绝缘基底，该绝缘基底具有一表面，该表面具有一边缘；

一图案化碳纳米管膜结构，该图案化碳纳米管膜结构部分设置于该绝缘基底的所述表面，该图案化碳纳米管膜结构包括两个条形臂，该两个条形臂在端部相连以形成一尖端，该尖端突出该绝缘基底所述表面的边缘并悬空设置，该图案化碳纳米管膜结构包括多个基本平行于该绝缘基底所述表面的碳纳米管。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂之间呈一小于180度的夹角α。

3.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该图案化碳纳米管膜结构包括多个相互层叠设置的碳纳米管膜，每个碳纳米管膜包括多个基本沿相同方向排列的碳纳米管，该多个碳纳米管膜沿相同方向排列的碳纳米管之间具有一夹角β，β大于0度且小于等于90度。

4.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该图案化碳纳米管膜结构进一步包括两个连接部，该两个连接部分别与所述两个条形臂相连接，该两个连接部设置于该绝缘基底的所述表面，该两个条形臂整体突出于该绝缘基底所述表面的边缘并自支撑的悬空设置。

5.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂分别包括一第一端及一第二端，该两个条形臂的宽度从第二端到第一端逐渐减小，该两个条形臂在第一端相连。

6.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该图案化碳纳米管膜结构进一步定义一凹槽，该凹槽的深度方向平行于该绝缘基底的所述表面，并从远离该尖端的方向向该尖端延伸。

7.如权利要求6所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂沿一轴线对称，该凹槽的深度方向为该轴线方向。

8.如权利要求3所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂沿一轴线对称，该图案化碳纳米管膜结构中至少一碳纳米管膜中的碳纳米管的排列方向为该轴线方向。

9.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂沿一轴线对称，该边缘为直线，该轴线垂直于该绝缘基底所述表面的边缘。

10.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该两个条形臂具有刃状厚度变化，该两个条形臂边缘的厚度小于中部的厚度。

11.如权利要求1所述的原子力显微镜探针，其特征在于，该图案化碳纳米管膜结构进一步包括多个突出于该尖端且相互间隔的碳纳米管。