[发明专利]一种硅棒表面处理方法

权利要求书

1.一种硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用1.5～4.5kg压力的气压喷枪将800～1500目的微粒物质由30～75度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为15～45分钟；所述微粒物质的硬度大于硅的硬度。

2.根据权利要求1所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用2.5kg压力的气压喷枪将800目的碳化硅微粒由40度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为20分钟。

3. 根据权利要求1所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用2.5kg压力的气压喷枪将1200目的碳化硅微粒由50度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为20分钟。

4.根据权利要求1所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用3.5kg压力的气压喷枪将1200目的碳化硅微粒由70度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为30分钟。

5.根据权利要求1所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的方法为：使用4kg压力的气压喷枪将1500目的金刚砂微粒由50度角均匀的喷射到硅棒表面，喷射时间为35分钟。

6.根据权利要求1～5任一所述的硅棒表面处理方法，其特征是：先将需要处理的硅棒稳定的放置在一上部连通抽吸装置，且一侧器壁上部设有开口的防护容器内，再将能够喷射微粒物质的气压喷枪的喷嘴由防护容器的开口对准硅棒的表面进行喷射；喷射过程中通过打开的抽吸装置将喷射出的微粒物质进行收集以备再次利用。

7. 根据权利要求6所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的防护容器尺寸为300mm×120mm×100mm。

8.根据权利要求1或6所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述方法中使用的微粒物质为碳化硅或金刚砂。

9.根据权利要求1～5任一所述的硅棒表面处理方法，其特征是：所述的气压喷枪工作时是通过注入喷枪后部的气压将注入喷枪中部的微粒物质由喷枪的喷嘴喷射而出。