[发明专利]真空器件内光路反射调节器件

说明书

技术领域

光电技术。 

背景技术

在许多真空器件中，特别是激光真空器件里面，需要对多束光路进行耦合，很多时候需要打开真空器件进行调节然后再重新进行真空，会影响镀膜等高精度器件的寿命。本发明是在不影响真空情况下对真空器件内部光路耦合的反射器件进行调节。 

发明内容

本器件主要分为调节部分，真空密封部分，镀膜光路反射部分。这三部分通过整件加工技术，可以使真空密封效果达到最大，同时不影响调节精度。 

调节部分的调节杆穿过真空密封部分与镀膜光路反射部分连接。真空密封部分同时对调节杆起支撑与固定作用。图1是角度调节范围(R1－R2)/2进行计算示意图；图2是反射角设计角度为光路成60度反射示意图；图3是角度调节范围示意图；图4是旋钮对镀膜光路反射部分在空间中位相微调示意图；图5为发明的侧面视角三维图；图6为发明的后面视角三维图。 

通过调节 4个旋钮对调节杆进行调节。2个调节旋钮是角度调节，另2个调节旋钮是位相调节。角度调节范围是根据图1中(R1－R2)/2进行计算的，图3是角度调节范围示意图。图4是旋钮对镀膜光路反射部分在空间中位相微调。 

真空内部角度调节范围是根据镀膜光路反射部分设计角度θ1±θ2进行计算。反射部分角度θ1的设计范围是垂直光路法线90度到lim0（度），根据设计需要进行加工设计，图2是镀膜反射部分示意图，图2中的设计角度为光路成60度反射。为计算方便θ2≈90°－tan^-1[((R1－R2)/2)/L)] ，其中L为设计长度。判断θ1±θ2正负号的方法是根据角度调节旋钮判断。在反射面朝向的旋钮，扭紧是取正，扭松是取负，不在反射面朝向的旋钮与其相反。 

镀膜根据反射光的波长而定，一般镀金膜。 

真空密封部分的厚度为0.1mm-1mm，材质为不锈钢。可以根据不同的尺寸和要求设计厚度。