[发明专利]压电促动器及液体喷头

权利要求书

1.一种压电促动器，其特征在于，包括压电元件；

所述压电元件的外表面设有绝缘保护层；

所述绝缘保护层由至少两层保护膜构成，该至少两层保护膜中至少有一层是柔性保护膜，至少有一层是刚性保护膜。

2.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于，所述的柔性保护膜为三维网络结构的二氧化硅膜；所述刚性保护膜为氮化硅膜。

3.根据权利要求1或2所述的压电促动器，其特征在于，所述柔性保护膜设置在所述压电元件的外表面，所述刚性保护膜设置在所述柔性保护膜的外侧。

4.根据权利要求1或2所述的压电促动器，其特征在于，所述柔性保护膜通过溶胶凝胶法形成。

5.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于，所述压电元件包括：依次层叠的上电极、压电体层和下电极。

6.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于，

所述压电促动器采用悬臂梁方式固定时，所述压电元件除用于固定连接的一侧外表面外其余外表面均设有绝缘保护层；或者，

所述压电促动器采用桥梁式固定时，所述压电元件除用于固定连接的两相对侧外表面外其余外表面均设有绝缘保护层。

7.一种液体喷头，其特征在于，包括：基板、与所述基板构成液体腔室的腔室壁以及如上述权利要求1至6中任一所述的压电促动器；其中，

所述基板上设有供液通道；

所述腔室壁上设有喷嘴口；

所述供液通道、液体腔室和喷嘴口构成液体流路；

所述压电促动器处于所述液体流路上，且所述压电促动器的致动方向与所述液体流路内的液体流向相同；所述压电促动器的一端固定在所述基板或所述腔室壁上，或者所述压电促动器的两端均固定在所述基板或所述腔室壁上。