[发明专利]一种表面等离子激元光波导

权利要求书

1.一种表面等离子激元光波导，其横截面包括带沟槽的介质基底层、位于介质基底层上的薄金属层以及包层；沟槽的截面形状为倒梯形、矩形中的任何一种；沟槽的下表面宽度为所传输的光信号的波长的0.06-0.8倍，且不大于沟槽的上表面的宽度，沟槽的上表面的宽度为所传输的光信号的波长的0.06-0.8倍，沟槽的深度范围为所传输的光信号的波长的0.6-5倍；薄金属层的厚度范围为所传输的光信号的波长的0.006-0.06倍；介质基底层和包层的材料为相同材料或不同材料。

2.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于，所述结构中薄金属层的材料为能产生表面等离子激元的金、银、铝、铜、钛、镍、铬中的任何一种、或是各自的合金、或是上述金属构成的复合材料。