[发明专利]一种高纯硅烷钢瓶清洗方法及配套清洗系统无效
| 申请号： | 201210043157.3 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102580967A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 徐昕;郑春宁;尤向东;何波 | 申请（专利权）人： | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐激波 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硅烷 钢瓶 清洗 方法 配套 系统 | ||
1.一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：
用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；
用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；
根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5-10Bar后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3-10分钟；
将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30-60Bar，然后送到热交换器，加热到50-80℃后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2-10分钟；
然后通入纯度为5.0N以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；
用内窥镜检查钢瓶状况，钢瓶内无生锈、无油污、无颗粒等为合格。
2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（3）中洗涤液加压到6Bar。
3.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（3）中洗涤液清洗时间为5分钟。
4.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水加压到40Bar。
5.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水加热到60℃。
6.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（4）中纯水清洗时间为3分钟。
7.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法，其特征在于：上述步骤（5）中通入氮气的纯度为6.0N。
8.上述权利要求1所述的一种高纯硅烷钢瓶清洗方法的配套清洗系统，其特征在于：包括去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。
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